[發(fā)明專利]一種鍺片拋光液回收再利用的裝置及其回收方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810355490.5
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN108531085A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 房現(xiàn)閣;柯尊斌;王卿偉;席珍強(qiáng);王龍成;金達(dá)萊;端平;周蘭;江云
• 申請（專利權(quán)）人: 中鍺科技有限公司
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本發(fā)明公開了一種鍺片拋光液回收再利用的裝置，由超聲波清洗槽、一級(jí)過濾罐、二級(jí)過濾罐、三級(jí)過濾罐和收集器依次連接組成，所述的超聲波清洗罐底部設(shè)有換能器，超聲波清洗罐和一級(jí)過濾罐之間連接一級(jí)蠕動(dòng)泵，所述的一級(jí)蠕動(dòng)泵通過硅膠管伸入超聲波清洗罐內(nèi)部，所述的硅膠管端部設(shè)有濾嘴；所述的三級(jí)過濾罐和收集器之間連接二級(jí)蠕動(dòng)泵，所述的一級(jí)過濾罐、二級(jí)過濾罐、三級(jí)過濾罐內(nèi)部均設(shè)有濾芯；所述的超聲波清洗槽和收集器內(nèi)部均同軸設(shè)有攪拌棒，所述的攪拌棒底部連接攪拌槳。本發(fā)明提高了拋光液使用效率，減少拋光廢液排量，減少了拋光藥品及廢液處理藥品的消耗，降低了企業(yè)生產(chǎn)成本和環(huán)保成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鍺片生產(chǎn)加工方法，特別涉及一種鍺片拋光廢液回收利用的裝置及其回收方法。

背景技術(shù)

鍺片化學(xué)機(jī)械拋光是晶片在一定的壓力及拋光液的條件下，通過磨粒的機(jī)械摩擦及氧化劑的腐蝕作用來去除晶片表面材料，獲得鏡面的過程，其中拋光液由氧化劑、研磨劑、穩(wěn)定劑、活性劑組成。拋光過程中產(chǎn)生的廢液一般經(jīng)收集處理后直接排掉。經(jīng)對(duì)廢液的有效氯/活性氧含量檢測，發(fā)現(xiàn)經(jīng)拋光后溶液中的有效氯/活性氧的損耗在5％～15％，即拋光廢液中仍有大量的氧化劑成分存在，而研磨劑、穩(wěn)定劑、活性劑的損耗幾乎可以忽略。另外廢液中還含有拋光墊絨毛屑、少量鍺/硅顆粒、鍺/硅酸鹽等。因此廢液通過過濾處理后，或直接利用，或添加適量的氧化劑再利用。

申請?zhí)枮?010100229972，申請日為2010.01.19，申請公布號(hào)為CN101758457A公開了一種化學(xué)機(jī)械拋光液回收和重復(fù)利用的方法，此法針對(duì)無氧化劑拋光液的回收利用，在氧化劑存在的條件下，其所用的陰、陽交換樹脂會(huì)發(fā)生氧化、變質(zhì)進(jìn)而迅速失效，因此此法不適用含氧化劑的拋光廢液的回收利用，另外此法還需稀釋原液再濃縮過濾液，過程繁瑣。申請?zhí)枮?016104414791，申請日為2016.6.20，申請公布號(hào)為CN105856073A公開了一種藍(lán)寶石拋光廢液的回收方法，是對(duì)銅、鉆石的回收，而非拋光廢液的回收利用。申請?zhí)枮?013101504398，申請日為2013.4.26，申請公布號(hào)CN103264352A公開了一種大型環(huán)拋機(jī)的拋光液循環(huán)過濾注液裝置，該方法操作復(fù)雜，設(shè)備成本高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種鍺片拋光液回收再利用的裝置。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種鍺片拋光液回收再利用的裝置，所述的裝置由超聲波清洗槽、一級(jí)過濾罐、二級(jí)過濾罐、三級(jí)過濾罐和收集器依次連接組成，所述的超聲波清洗罐底部設(shè)有換能器，超聲波清洗罐和一級(jí)過濾罐之間連接一級(jí)蠕動(dòng)泵，所述的一級(jí)蠕動(dòng)泵通過硅膠管伸入超聲波清洗罐內(nèi)部，所述的硅膠管端部設(shè)有濾嘴；所述的三級(jí)過濾罐和收集器之間連接二級(jí)蠕動(dòng)泵，所述的一級(jí)過濾罐、二級(jí)過濾罐、三級(jí)過濾罐內(nèi)部均設(shè)有濾芯；所述的超聲波清洗槽和收集器內(nèi)部均同軸設(shè)有攪拌棒，所述的攪拌棒底部連接攪拌槳。

超聲的同時(shí)必須攪拌，目的是保持溶液良好的分散性，防止研磨劑成分團(tuán)聚。采用一級(jí)過濾罐、二級(jí)過濾罐、三級(jí)過濾罐進(jìn)行分級(jí)過濾的目的是提高溶液通過率，減少濾芯更換頻率。

所述的超聲波清洗槽頂部連接注入管道，用于注入拋光廢液。

所述的收集器頂部設(shè)有給料口，底部設(shè)有排液口。

所述的換能器連接于超聲頻電源。

所述的攪拌槳通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

所述的一級(jí)過濾罐濾芯孔徑500nm～1um，二級(jí)過濾罐濾芯孔徑150nm～500nm，三級(jí)過濾罐濾芯孔徑為80nm～150nm。

所述的超聲波清洗槽內(nèi)壁材質(zhì)為聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料，所述的攪拌棒及攪拌槳材質(zhì)為聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料。

本發(fā)明還公開了一種鍺片拋光液回收再利用的方法，包括如下步驟：

1)將一定量的鍺片拋光廢液置入超聲波清洗槽中，超聲并攪拌均勻；