[發明專利]一種鍺片拋光液回收再利用的裝置及其回收方法

在審

• 申請號: 201810355490.5
• 申請日: 2018-04-19
• 公開（公告）號: CN108531085A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 房現閣;柯尊斌;王卿偉;席珍強;王龍成;金達萊;端平;周蘭;江云
• 申請（專利權）人: 中鍺科技有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種鍺片拋光液回收再利用的裝置，其特征在于：所述的裝置由超聲波清洗槽(3)、一級過濾罐(8-1)、二級過濾罐(8-2)、三級過濾罐(8-3)和收集器(11)依次連接組成，所述的超聲波清洗罐(3)底部設有換能器(14)，超聲波清洗罐(3)和一級過濾罐(8-1)之間連接一級蠕動泵(7)，所述的一級蠕動泵(7)通過硅膠管(6)伸入超聲波清洗罐(3)內部，所述的硅膠管(6)端部設有濾嘴(5)；所述的三級過濾罐(8-3)和收集器(11)之間連接二級蠕動泵(10)，所述的一級過濾罐(8-1)、二級過濾罐(8-2)、三級過濾罐(8-3)內部均設有濾芯(9)；所述的超聲波清洗槽(3)和收集器(11)內部均同軸設有攪拌棒，所述的攪拌棒底部連接攪拌槳(4)。

2.如權利要求1所述的鍺片拋光液回收再利用的裝置，其特征在于：所述的超聲波清洗槽(3)頂部連接注入管道(1)，用于注入拋光廢液。

3.如權利要求2所述的鍺片拋光液回收再利用的裝置，其特征在于：所述的收集器(11)頂部設有給料口(13)，底部設有排液口(12)。

4.如權利要求2所述的鍺片拋光液回收再利用的裝置，其特征在于：所述的換能器(14)連接于超聲頻電源。

5.如權利要求2所述的鍺片拋光液回收再利用的裝置，其特征在于：所述的攪拌槳(4)通過驅動電機(2)驅動。

6.如權利要求5所述的鍺片拋光液回收再利用的裝置，其特征在于：所述的一級過濾罐(8-1)濾芯孔徑500nm～1um，二級過濾罐(8-2)濾芯孔徑150nm～500nm，三級過濾罐(8-3)濾芯孔徑為80nm～150nm。

7.如權利要求6所述的鍺片拋光液回收再利用的裝置，其特征在于：所述的超聲波清洗槽(3)內壁材質為聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料，所述的攪拌棒及攪拌槳(4)材質為聚氟乙烯或聚氟四乙烯或聚乙烯材料。

8.一種鍺片拋光液回收再利用的方法，其特征在于：包括如下步驟：

1)將一定量的鍺片拋光廢液置入超聲波清洗槽(3)中，超聲并攪拌均勻；

2)通過一級蠕動泵(7)將廢液抽取到含不同孔徑濾芯的過濾罐中過濾；

3)通過二級蠕動泵(10)將過濾液抽取至收集槽(11)中，攪拌后待用。

9.如權利要求8所述的鍺片拋光液回收再利用的方法，其特征在于：所述的超聲波清洗槽超聲波頻率20KHz～1000KHz，超聲時間1min～360min；攪拌速度為10r/min～1000r/min，攪拌時間1min～720min；超聲的同時必須攪拌。

10.如權利要求8所述的鍺片拋光液回收再利用的方法，其特征在于：所述的步驟2)中，一級蠕動泵轉速設置在20r/min～600r/min；所述的步驟3)中，二級蠕動泵轉速設置在20r/min～600r/min，攪拌速度為10r/min～1000r/min，攪拌時間1min～720min。