[發(fā)明專利]可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810353361.2
• 申請(qǐng)日: 2018-04-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108592777A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢(qián)錦繡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 錢(qián)立文
• 主分類號(hào): G01B7/06
• 分類號(hào): G01B7/06;G01R27/02;H01G4/33
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，包括安裝在真空蒸鍍室內(nèi)的測(cè)控主機(jī)(1)、安裝在真空蒸鍍室外的人機(jī)界面控制盒(2)、以及用于真空蒸鍍室內(nèi)外電連接的真空電極法蘭(3)；所述的測(cè)控主機(jī)(1)的機(jī)架(11)固設(shè)在絲桿滑臺(tái)(6)的滑座(8)上；所述的人機(jī)界面控制盒(2)上設(shè)有控制測(cè)控主機(jī)(1)沿金屬化薄膜(5)膜幅面垂直橫向水平移動(dòng)的左移操作按鈕(21)、右移操作按鈕(22)；所述的真空電極法蘭(3)上設(shè)有供步進(jìn)電機(jī)(7)驅(qū)動(dòng)線進(jìn)出真空蒸鍍室內(nèi)外的針電極(31)。本發(fā)明可檢測(cè)整個(gè)膜幅面所涵蓋的鍍層方阻值變化情況，適應(yīng)金屬化薄膜規(guī)格多樣化的監(jiān)測(cè)要求，有利于提高鍍膜的質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及金屬化薄膜金屬鍍層測(cè)厚儀，特別是涉及一種可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置。

背景技術(shù)

金屬化薄膜是薄膜電容器生產(chǎn)制造的重要材料，將高純度金屬（如AL，ZN）在高真空狀態(tài)下熔化、蒸發(fā)、沉淀到介質(zhì)基膜上，在介質(zhì)基膜表面形成一層極薄的金屬鍍層后的薄膜就是金屬化薄膜；金屬鍍層厚度的縱向、橫向均勻度是鍍膜制品重要質(zhì)量和技術(shù)指標(biāo)，金屬化薄膜上的金屬鍍層厚度很小極難測(cè)量，通常用方塊電阻來(lái)表示金屬鍍層的厚度，單位正方形面積的電阻值稱為方阻（即方塊電阻，用Ω/□表示）；在鍍膜過(guò)程中，如果不能實(shí)時(shí)了解整個(gè)膜面鍍層的均勻性，及時(shí)調(diào)整生產(chǎn)工藝，就會(huì)影響鍍膜的質(zhì)量，但是方阻在線監(jiān)視，無(wú)法采取接觸方式測(cè)量，通常采用表征方阻特性的光密度檢測(cè)方式，不與金屬化薄膜上的金屬鍍層接觸；現(xiàn)有的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置一般包括安裝在真空蒸鍍室內(nèi)的測(cè)控主機(jī)、安裝在真空蒸鍍室外的人機(jī)界面、以及用于電連接真空蒸鍍室內(nèi)外的真空電極法蘭；測(cè)控主機(jī)一般包含機(jī)架、固設(shè)在機(jī)架垂直面的控制器、固設(shè)在機(jī)架水平面的至少一對(duì)光源發(fā)射頭、光源接收頭；人機(jī)界面固設(shè)在蒸鍍室外的控制盒操作面，用于顯示所有測(cè)試點(diǎn)數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)監(jiān)控；真空電極法蘭固設(shè)在蒸鍍室側(cè)壁孔上，用于完成真空蒸鍍室內(nèi)側(cè)的測(cè)控主機(jī)供電與外側(cè)的人機(jī)界面通訊的電連接，且不影響真空蒸鍍室內(nèi)的真空度；然而金屬化薄膜規(guī)格多樣化，即整個(gè)膜幅面鍍層帶數(shù)量不一樣，采取這種固定位置在線監(jiān)視方式，勢(shì)必會(huì)導(dǎo)致部分鍍層帶區(qū)域無(wú)法監(jiān)測(cè)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，測(cè)控主機(jī)可檢測(cè)整個(gè)膜幅面所涵蓋的鍍層方阻值變化情況，適應(yīng)金屬化薄膜規(guī)格多樣化的監(jiān)測(cè)要求，有利于提高鍍膜的質(zhì)量。

技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了以下技術(shù)方案：可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，包括安裝在真空蒸鍍室內(nèi)的測(cè)控主機(jī)、安裝在真空蒸鍍室外的人機(jī)界面控制盒、以及用于真空蒸鍍室內(nèi)外電連接的真空電極法蘭；所述的測(cè)控主機(jī)的機(jī)架固設(shè)在絲桿滑臺(tái)的滑座上，所述的絲桿滑臺(tái)由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)；所述的人機(jī)界面控制盒上設(shè)有控制測(cè)控主機(jī)沿金屬化薄膜膜幅面垂直橫向水平移動(dòng)的左移操作按鈕、右移操作按鈕；所述的真空電極法蘭上設(shè)有供步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)線進(jìn)出真空蒸鍍室內(nèi)外的針電極。

進(jìn)一步的，所述測(cè)控主機(jī)的機(jī)架呈長(zhǎng)框架結(jié)構(gòu)，與金屬化薄膜膜幅面呈垂直設(shè)置，用于安裝光源發(fā)射頭及光源接收頭，所述金屬化薄膜膜幅面位于光源發(fā)射頭與光源接收頭之間的框架內(nèi)。

進(jìn)一步的，所述絲桿滑臺(tái)通過(guò)連桿水平固定在蒸鍍室側(cè)壁上。

進(jìn)一步的，所述真空電極法蘭包含有4針電極，分別用于電連接步進(jìn)電機(jī)的A+、A-、B+、B-相線。

進(jìn)一步的，所述步進(jìn)電機(jī)的A+、A -、B+、B-相線輸入端通過(guò)接插母頭分別插入真空電極法蘭真空蒸鍍室內(nèi)側(cè)的針電極上，由真空電極法蘭針電極電連接至真空蒸鍍室外側(cè)，再分別通過(guò)接插母頭插入真空電極法蘭真空蒸鍍室外側(cè)的針電極上，將步進(jìn)電機(jī)的 A+、A-、B+、B-相線電連接至步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的輸出端子上。

優(yōu)選的，所述的絲桿滑臺(tái)有效行程為200mm，絲桿滑臺(tái)帶動(dòng)測(cè)控主機(jī)沿金屬化薄膜膜幅面垂直橫向水平左、右移動(dòng)，可檢測(cè)整個(gè)膜幅面所涵蓋的鍍層方阻。