[發(fā)明專利]可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810353361.2
• 申請(qǐng)日: 2018-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN108592777A
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢錦繡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 錢立文
• 主分類號(hào): G01B7/06
• 分類號(hào): G01B7/06;G01R27/02;H01G4/33
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，包括安裝在真空蒸鍍室內(nèi)的測控主機(jī)(1)、安裝在真空蒸鍍室外的人機(jī)界面控制盒(2)、以及用于真空蒸鍍室內(nèi)外電連接的真空電極法蘭(3)；其特征在于所述的測控主機(jī)(1)的機(jī)架(11)固設(shè)在絲桿滑臺(tái)(6)的滑座(8)上，所述的絲桿滑臺(tái)(6)由步進(jìn)電機(jī)(7)驅(qū)動(dòng)；所述的人機(jī)界面控制盒(2)上設(shè)有控制測控主機(jī)(1)沿金屬化薄膜(5)膜幅面垂直橫向水平移動(dòng)的左移操作按鈕(21)、右移操作按鈕(22)；所述的真空電極法蘭(3)上設(shè)有供步進(jìn)電機(jī)(7)驅(qū)動(dòng)線進(jìn)出真空蒸鍍室內(nèi)外的針電極(31)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，其特征在于所述測控主機(jī)(1)的機(jī)架(11)呈長框架結(jié)構(gòu)，與金屬化薄膜(5)膜幅面呈垂直設(shè)置，用于安裝光源發(fā)射頭(12)及光源接收頭(13)，所述金屬化薄膜(5)膜幅面位于光源發(fā)射頭(12)與光源接收頭(13)之間的框架內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，其特征在于所述絲桿滑臺(tái)(6)通過連桿(9)水平固定在蒸鍍室側(cè)壁(4)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，其特征在于所述真空電極法蘭(3)包含有4針電極(31)，分別用于電連接步進(jìn)電機(jī)(7)的A+、A -、B+、B-相線。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，其特征在于所述步進(jìn)電機(jī)(7)的A+、A -、B+、B-相線輸入端通過接插母頭分別插入真空電極法蘭(3)真空蒸鍍室內(nèi)側(cè)的針電極(31)上，由真空電極法蘭(3) 針電極(31)電連接至真空蒸鍍室外側(cè)，再分別通過接插母頭插入真空電極法蘭(3)真空蒸鍍室外側(cè)的針電極(31)上，將步進(jìn)電機(jī)(7)的A+、A -、B+、B-相線電連接至步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的輸出端子上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，其特征在于所述絲桿滑臺(tái)(6)有效行程為200mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，其特征在于所述測控主機(jī)(1)的機(jī)架(11)內(nèi)長為1100mm左右。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可移動(dòng)的金屬化薄膜方阻在線監(jiān)視裝置，其特征在于所述測控主機(jī)(1)的光源發(fā)射頭(12)、光源接收頭(13)間隙為20mm左右。