[發(fā)明專(zhuān)利]基板處理方法和基板處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810348854.7
• 申請(qǐng)日: 2018-04-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108735626B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 日野出大輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/306
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 宋曉寶;向勇

本發(fā)明提供一種基板處理方法和基板處理裝置。當(dāng)磷酸容器內(nèi)的磷酸水溶液的硅濃度達(dá)到規(guī)定濃度范圍的上限值時(shí)，通過(guò)從磷酸容器排出磷酸水溶液和/或減少返回磷酸容器的磷酸水溶液的量，使磷酸容器內(nèi)的液量減少到規(guī)定液量范圍的下限值以下的值。當(dāng)磷酸容器內(nèi)的液量減少到規(guī)定液量范圍的下限值以下的值時(shí)，通過(guò)向磷酸容器補(bǔ)充磷酸水溶液，使磷酸容器內(nèi)的液量增加到規(guī)定液量范圍內(nèi)的值，并且使磷酸容器內(nèi)的磷酸水溶液的硅濃度減低到規(guī)定濃度范圍內(nèi)的值。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)基板進(jìn)行處理的基板處理方法和基板處理裝置。作為處理對(duì)象的基板，例如包括半導(dǎo)體晶片、液晶顯示裝置用基板、等離子顯示器用基板、FED(FieldEmission Display：場(chǎng)致發(fā)射顯示器)用基板、光盤(pán)用基板、磁盤(pán)用基板、光磁盤(pán)用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太陽(yáng)能電池用基板等。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體裝置或液晶顯示裝置等的制造工序中，使用對(duì)半導(dǎo)體晶片或液晶顯示裝置用玻璃基板等基板進(jìn)行處理的基板處理裝置。日本JP2016-32029A公開(kāi)了對(duì)基板一張一張地進(jìn)行處理的單張式基板處理裝置。

該基板處理裝置具備：旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)，一邊將基板保持為水平一邊旋轉(zhuǎn)基板；處理液噴嘴，向由旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)保持的基板噴出磷酸水溶液；以及杯，接收從基板甩掉的磷酸水溶液。在第一容器、第二容器和第三容器中貯存向基板供給的磷酸水溶液。

第一容器和第二容器貯存有基準(zhǔn)磷酸濃度和基準(zhǔn)硅濃度的磷酸水溶液。第一容器內(nèi)的磷酸水溶液從處理液噴嘴噴出，并供給至基板。第二容器內(nèi)的磷酸水溶液補(bǔ)充至第一容器。由此，將使第一容器內(nèi)的液量維持為恒定。從基板甩掉的磷酸水溶液由杯接收，并導(dǎo)向第三容器。

為了補(bǔ)充未能回收到第三容器的磷酸水溶液，向第三容器供給調(diào)整為規(guī)定的磷酸濃度的新的磷酸水溶液。由此，在三個(gè)容器中貯存的磷酸水溶液的總量維持為恒定。然后，將向第三容器供給的新的磷酸水溶液的硅濃度，以使第三容器內(nèi)的磷酸水溶液的硅濃度成為基準(zhǔn)硅濃度的方式進(jìn)行調(diào)整。當(dāng)?shù)诙萜鲀?nèi)的磷酸水溶液變少時(shí)，向第一容器補(bǔ)充第三容器內(nèi)的磷酸水溶液，向基板供給的磷酸水溶液由第二容器回收。

在一邊抑制硅氧化膜的蝕刻，一邊蝕刻硅氮化膜的選擇蝕刻中，使含有于磷酸水溶液的硅的濃度維持在規(guī)定濃度范圍內(nèi)，在穩(wěn)定和提高選擇比(硅氮化膜的蝕刻量/硅氧化膜的蝕刻量)方面重要。

另一方面，在單張式基板處理裝置中，不能全部回收向基板供給的全部的處理液。這是因?yàn)椋徊糠痔幚硪簹埩粲诨搴捅蛘哒舭l(fā)。在上述的日本JP2016-32029A中，為了使在三個(gè)容器中貯存的磷酸水溶液的總量維持為恒定，向第二容器或第三容器補(bǔ)充新的磷酸水溶液。而且，為了將第二容器或第三容器內(nèi)的磷酸水溶液的硅濃度調(diào)整為基準(zhǔn)硅濃度，變更補(bǔ)充的磷酸水溶液的硅濃度。

但是，上述的現(xiàn)有技術(shù)只是補(bǔ)充與不能回收的磷酸水溶液相當(dāng)?shù)牧康牧姿崴芤海⒉皇菫榱舜龠M(jìn)補(bǔ)充磷酸水溶液，而有意地減少磷酸水溶液的總量。因此，在上述的現(xiàn)有技術(shù)中，不能變更補(bǔ)充磷酸水溶液的時(shí)刻或磷酸水溶液的補(bǔ)充量。

發(fā)明內(nèi)容