[發(fā)明專利]虛擬端子單元有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810347424.3 | 申請日: | 2015-07-06 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108538742B | 公開(公告)日: | 2022-06-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 中西多公歲;徐創(chuàng)矢;小鹽智;村上奈穗 | 申請(專利權(quán))人: | 日東電工株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66;H01L51/54 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人: | 曲天佐 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 虛擬 端子 單元 | ||
本發(fā)明的虛擬端子單元在放置于元件母板上以與元件母板重疊的狀態(tài)下使用,元件母板包括使多個(gè)顯示元件配置成縱向列而成的多列顯示元件縱列,顯示元件具有矩形顯示面且沿顯示面的短邊或長邊形成有端子部分,虛擬端子單元使被重疊的元件母板的多個(gè)顯示元件同時(shí)激發(fā)來檢查顯示元件的缺陷,其包括與元件母板的周邊對應(yīng)的形狀的外框、設(shè)于外框內(nèi)的橫梁及縱梁和由橫梁及縱梁形成的多個(gè)窗,各窗配置在與重疊于虛擬端子單元的元件母板上所配置的多個(gè)顯示元件的顯示面分別對應(yīng)的位置,虛擬端子單元在與端子部分的電連接端子對應(yīng)的位置沿窗各自的一邊配置有激發(fā)電力供給用電連接端子,且設(shè)有用于向激發(fā)電力供給用電連接端子供給激發(fā)電力的激發(fā)電力源連接部。
本申請是申請?zhí)枮?01510390911.4、申請日為2015年07月06日、申請人為日東電工株式會(huì)社、發(fā)明創(chuàng)造名稱為“撓性薄膜結(jié)構(gòu)的顯示元件的光學(xué)檢查方法及虛擬端子單元”的發(fā)明專利申請的分案申請。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及被貼合光學(xué)功能膜的撓性薄膜結(jié)構(gòu)的顯示元件的檢查方法及該方法所使用的虛擬端子單元。特別是,本發(fā)明涉及有機(jī)EL顯示元件這樣的能夠形成為撓性薄膜結(jié)構(gòu)、且被貼合光學(xué)功能膜的顯示元件的檢測方法及該方法所使用的虛擬端子單元,但其不為限定性的含義。
背景技術(shù)
有機(jī)EL顯示元件因?yàn)槟軌蛐纬蔀閾闲员∧そY(jié)構(gòu),所以還可以將使用該顯示元件的顯示裝置構(gòu)成為曲面,或者撓性地構(gòu)成整個(gè)顯示裝置,使之能夠卷繞成卷筒或彎折。該種顯示元件一般是通過在玻璃基板這樣的耐熱性基板上形成聚酰亞胺樹脂這樣的樹脂的膜,利用該樹脂膜作為形成膜狀顯示元件所用的基材,并在該基材上形成顯示元件來進(jìn)行制造的。在這樣制造的顯示元件的顯示面上,經(jīng)由粘接劑層貼合光學(xué)功能膜。
另外,在智能手機(jī)或平板電腦大小的顯示裝置中所使用的較小尺寸的顯示元件,是通過在一個(gè)基板上形成多個(gè)元件而制造的。作為對工業(yè)制造這種較小畫面尺寸的有機(jī)EL顯示元件的方法進(jìn)行記載的文獻(xiàn),具有韓國專利申請公開公報(bào)10-1174834號(hào)(專利文獻(xiàn)1)。根據(jù)該專利文獻(xiàn)1所記載的方法,在玻璃基板上形成聚酰亞胺樹脂這樣的樹脂的膜,利用該樹脂膜作為形成膜狀顯示元件所用的基材。然后,在該基材上形成配置為縱橫多列的大量顯示元件,利用工序膜覆蓋其整個(gè)面,接著,將形成有該顯示元件的基材從玻璃基板上剝離。之后,在貼合有工序膜的狀態(tài)下,分割各個(gè)膜狀顯示元件,在對應(yīng)端子部分的位置,剝離該工序膜以使具有形成于各個(gè)膜狀顯示元件一邊的電連接用電氣端子的端子部分露出,由此形成各個(gè)膜狀顯示元件。
對于按照上述方法形成的顯示元件,要進(jìn)行光學(xué)檢查。該光學(xué)檢查通常是在基于反射光的表面缺陷檢查、以及通過向顯示元件施加激發(fā)電力而使該顯示元件為激發(fā)狀態(tài)、檢查該顯示元件的動(dòng)作是否正常的點(diǎn)燈檢查這兩個(gè)步驟中進(jìn)行的。在后者的點(diǎn)燈檢查中,為了向各顯示元件施加激發(fā)電力,使用具有與該顯示元件的電連接端子連接的電連接端子的虛擬端子。
當(dāng)在顯示元件的激發(fā)狀態(tài)下完成缺陷檢查時(shí),若在剛剛制造該顯示元件之后的狀態(tài)下進(jìn)行該檢查,則存在異物附著于顯示元件的顯示面而使顯示元件的功能變差的隱患。因此,通常是在顯示元件的前表面貼合保護(hù)膜再進(jìn)行檢查。但是,若使用保護(hù)膜,則需要在后續(xù)的工序中剝?nèi)ピ摫Wo(hù)膜,工時(shí)增加。因此,考慮在將光學(xué)功能膜貼合于顯示面之后進(jìn)行檢查,但在顯示面貼合了光學(xué)功能膜的狀態(tài)下,不能進(jìn)行精密的激發(fā)狀態(tài)檢查。
并且,在將多個(gè)顯示元件在元件母板上配置為縱橫的矩陣狀的結(jié)構(gòu)的情況下,若逐個(gè)使各個(gè)顯示元件為激發(fā)狀態(tài)來進(jìn)行檢查,則檢查所需要的時(shí)間與勞動(dòng)力將會(huì)增加,并不優(yōu)選。
專利文獻(xiàn)1:韓國專利申請公開公報(bào)10-1174834號(hào)
專利文獻(xiàn)2:國際公開公報(bào)WO2009/104371A1
專利文獻(xiàn)3:(日本)特開2007-157501號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)4:(日本)特開2013-63892號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)5:(日本)特開2010-13250號(hào)公報(bào)
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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