[發明專利]虛擬端子單元有效
| 申請號: | 201810347424.3 | 申請日: | 2015-07-06 |
| 公開(公告)號: | CN108538742B | 公開(公告)日: | 2022-06-28 |
| 發明(設計)人: | 中西多公歲;徐創矢;小鹽智;村上奈穗 | 申請(專利權)人: | 日東電工株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L51/54 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 曲天佐 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 虛擬 端子 單元 | ||
1.一種虛擬端子單元,其特征在于,所述虛擬端子單元為激發電力施加用的虛擬端子單元,所述虛擬端子單元能夠與元件母板重疊,在放置于所述元件母板上以與該元件母板重疊的狀態下使用,所述元件母板包括使多個顯示元件被配置成縱向列而成的多列顯示元件縱列,所述顯示元件為具有包括兩個短邊和兩個長邊的矩形形狀的顯示面、且沿所述短邊及長邊中的一個邊形成有端子部分的結構,所述端子部分具有電連接端子,所述虛擬端子單元用于針對被重疊的所述元件母板,使該元件母板上的多個所述顯示元件同時為激發狀態來進行該顯示元件的缺陷檢查,
所述虛擬端子單元包括:
外框,其為與所述元件母板的周邊對應的形狀;
橫梁及縱梁,其設于該外框內;
多個窗,其由該橫梁及縱梁形成;
各所述窗配置在與重疊于所述虛擬端子單元的元件母板上所配置的多個所述顯示元件的所述顯示面分別對應的位置,
所述虛擬端子單元在與所述顯示元件的所述端子部分的電連接端子對應的位置沿所述窗各自的一個邊配置有激發電力供給用電連接端子,
所述虛擬端子單元設置有用于向所述激發電力供給用電連接端子供給激發電力的激發電力源連接部。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





