[發明專利]機械手及靶材加工裝置

在審

• 申請號: 201810343571.3
• 申請日: 2018-04-17
• 公開（公告）號: CN108527424A
• 公開（公告）日: 2018-09-14
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;泮旭陽
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B25J15/06
• 分類號: B25J15/06;B25J15/10
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 孫輝

本發明提供一種機械手及靶材加工裝置，涉及裝夾設備技術領域，機械手包括機械手本體和吸附組件；所述機械手本體用于裝夾工件；所述吸附組件與所述機械手本體固定連接，且所述吸附組件用于吸附物體。在機械手本體裝夾工件的同時，吸附組件能夠將與工件對應的物體(例如檢移票或工件生產要求銘牌等)吸附，使工件和與工件對應的物體一同移動，從而防止混料，提高加工的可靠性。

技術領域

本發明涉及裝夾設備技術領域，尤其是涉及一種機械手，以及一種具有該機械手的靶材加工裝置。

背景技術

鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

在靶材生產過程中，相對應的會下發一份檢移票，檢移票上會明確提示各個工序的生產流程，且一個工件對應一份檢移票?，F有技術中，操作員在拿取工件后再拿取對應的檢移票，根據檢移票內容加工工件。

但是，人工拿取產品后需要手工放置檢移票，當現場工件過多時，極易造成檢移票放混，出現混料事故。

發明內容

本發明的目的在于提供一種機械手，以解決現有技術中的的技術問題。

本發明提供的機械手，包括機械手本體和吸附組件；

所述機械手本體用于裝夾工件；

所述吸附組件與所述機械手本體固定連接，且所述吸附組件用于吸附物體。

進一步地，所述吸附組件包括真空吸盤。

進一步地，所述吸附組件還包括驅動件，所述驅動件用于驅動所述真空吸盤相對于所述機械手本體移動。

進一步地，所述吸附組件還包括檢測件，所述檢測件用于獲取所述物體的位置信息。

進一步地，所述驅動件能夠獲取所述檢測件獲取的物體的位置信息，并根據物體的位置信息驅動所述真空盤移動至物體的位置。

進一步地，機械手本體包括移動組件和裝夾組件；

所述裝夾組件和所述吸附組件分別固定在所述移動組件上，所述移動組件用于帶動所述裝夾組件和所述吸附組件移動至選定的位置；

所述裝夾組件用于裝夾工件。

進一步地，所述裝夾組件包括多個夾持輪，多個所述夾持輪能夠配合夾持工件，且多個所述夾持輪分別能夠伸入車床夾具中相鄰的夾爪之間。

進一步地，所述裝夾組件還包括安裝盤和多個卡爪；

每個所述卡爪分別與所述安裝盤滑動連接，每個所述卡爪分別能夠沿所述安裝盤的徑向滑動，每個所述卡爪遠離所述安裝盤的一端分別固定設有所述夾持輪，且多個所述卡爪沿所述安裝盤的周向均勻間隔設置。

進一步地，所述裝夾組件還包括卡爪驅動件，所述卡爪驅動件用于驅動所述卡爪沿所述安裝盤的徑向滑動。

本發明的目的還在于提供一種靶材加工裝置，包括本發明所述的機械手。

本發明提供的機械手，包括機械手本體和吸附組件；所述機械手本體用于裝夾工件；所述吸附組件與所述機械手本體固定連接，且所述吸附組件用于吸附物體。在機械手本體裝夾工件的同時，吸附組件能夠將與工件對應的物體(例如檢移票或工件生產要求銘牌等)吸附，使工件和與工件對應的物體一同移動，從而防止混料，提高加工的可靠性。

附圖說明