[發明專利]一種全自動機器視覺銅排體積電阻率檢測裝置

在審

• 申請號: 201810339272.2
• 申請日: 2018-04-16
• 公開（公告）號: CN108333430A
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 唐靜瑩
• 申請（專利權）人: 德陽微影智能科技有限責任公司
• 主分類號: G01R27/08
• 分類號: G01R27/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全自動機器視覺銅排體積電阻率檢測裝置，包括支承運動裝置(1)、夾持組件和自動控制系統，其特征在于，所述支承運動裝置(1)包括基座(11)以及安裝在基座上的橫向傳動機構(12)和相機支架(13)；所述夾持組件包括固定夾持組件(6)和三套活動夾持組件，固定夾持組件(6)不可移動，三套活動夾持組件將被橫向傳動機構(12)分別帶動著橫向移動至各自的夾持位置；所述自動控制系統包括工業相機(7)、上位機單元(9)、電阻測量單元、信號檢測單元和邏輯控制單元，所述上位機單元(9)包括視覺測定算法模塊、夾持位置計算模塊、體積電阻率計算模塊和人機交互模塊。

2.根據權利要求1所述的一種全自動機器視覺銅排體積電阻率檢測裝置，其特征在于，所述基座(11)上沿縱向設置有左擋板(1101)和右擋板(1102)，左、右擋板上均安裝有可滑動的預裝夾塊(1103)，預裝夾塊(1103)上設有鎖緊旋鈕(1104)，左、右擋板之間安裝有橫向導軌(1105)，橫向導軌(1105)上設有橫向滑塊(1106)，夾持組件固定在橫向滑塊(1106)上，右擋板(1102)右側安裝有縱向導軌(1107)，縱向導軌(1107)上設有縱向滑塊(1108)，縱向滑塊(1108)上安裝有相機支架(13)，工業相機(7)固定在相機支架(13)上，檢測前將銅排試樣(2)置于左、右擋板上，滑動預裝夾塊(1103)頂緊銅排試樣(2)后，再通過鎖緊旋鈕(1104)固定住預裝夾塊(1103)，然后移動相機支架(13)使工業相機(7)大致正對銅排試樣(2)的橫截面，銅排試樣(2)的預裝夾緊操作完成。

3.根據權利要求1所述的一種全自動機器視覺銅排體積電阻率檢測裝置，其特征在于，所述夾持組件外部設有殼體(33)，殼體(33)內安裝有進給傳動機構，進給傳動機構上設置有絕緣電極座(32)，絕緣電極座(32)上固定著電極，殼體(33)上方一端固接有絕緣擋塊(34)，絕緣擋塊(34)在面向電極一側設置有薄膜壓力傳感器(81)，當自動控制系統控制進給傳動機構啟動時，絕緣電極座(32)將帶動著電極縱向進給以夾持銅排試樣(2)，當薄膜壓力傳感器(81)檢測到銅排試樣(2)已被電極夾緊時，夾持完成。

4.根據權利要求1所述的一種全自動機器視覺銅排體積電阻率檢測裝置，其特征在于，所述信號檢測單元包括三個拉繩位移傳感器和四個薄膜壓力傳感器(81)，三個拉繩位移傳感器采用級聯方式按順序安裝在三套活動夾持組件的殼體(33)底部。

5.根據權利要求1所述的一種全自動機器視覺銅排體積電阻率檢測裝置，其特征在于，所述自動控制系統在銅排試樣(2)被預裝夾緊之后通過工業相機(7)采集銅排試樣截面圖像，通過視覺測定算法模塊分析獲得銅排試樣(2)的截面積和截面周長，通過夾持位置計算模塊計算出三套活動夾持組件的準夾位置，邏輯控制單元驅動三套活動夾持組件橫向移動，當三套活動夾持組件的當前位置分別等于準夾位置時表明三套活動夾持組件均已到位，此時控制三套活動夾持組件停止橫移，然后邏輯控單元驅動電極縱進，當銅排試樣(2)被電極夾緊時，此時控制電極停止縱進，而后邏輯控制單元驅動微電阻計(86)測出銅排試樣(2)標距長度兩端間的正向電阻，再控制電流換向模塊(85)改變測試電流方向，然后驅動微電阻計(86)測出銅排試樣(2)標距長度兩端間的反向電阻，最后通過體積電阻率計算模塊計算出銅排試樣(2)的體積電阻率。