[發明專利]一種硅板機械清洗裝置

有效

• 申請號: 201810334479.0
• 申請日: 2018-04-14
• 公開（公告）號: CN108573904B
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發明（設計）人: 艾蒙雁
• 申請（專利權）人: 蕪湖揚展新材料科技服務有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京元本知識產權代理事務所(普通合伙) 11308
• 代理人: 范奇

1.一種硅板機械清洗裝置，其特征在于，包括承載裝置和清洗裝置，所述清洗裝置包括轉盤（2），轉盤（2）下表面設有軟羊毛刷（22），轉盤（2）頂部連接有電機（3），所述承載裝置包括承載底座（1），所述承載底座（1）中心對稱設有四個承載滑槽（12），所述承載滑槽（12）內設有固定組件（5），所述固定組件（5）包括U型框（51）和擋板（52），所述U型框（51）兩端內壁設有T型滑槽（511），所述擋板（52）兩端設有T型凸起，所述T型凸起與T型滑槽（511）滑動連接，所述T型滑槽（511）底端設有若干螺紋孔（512），所述螺紋孔（512）內螺紋連接有緊固螺栓（53），所述承載滑槽（12）底部設有滑動組件（4），所述滑動組件（4）與承載底座（1）通過連桿（7）連接，所述滑動組件（4）包括兩塊矩形滑塊（42），所述矩形滑塊（42）之間通過工字型連接件（41）固接，所述矩形滑塊（42）內表面設有矩形滑槽二（43），所述承載滑槽（12）左、右側壁對稱設有矩形凹槽（13），所述矩形凹槽（13）上、下內壁對稱設有矩形滑槽一（14），所述矩形滑槽一（14）和矩形滑槽二（43）之間通過連桿（7）連接，所述工字型連接件（41）前端面設有轉動軸，所述轉動軸與U型框（51）通過軸承轉動連接，所述連桿（7）的外端和內端分別設有圓柱形滑塊一（71）和圓柱形滑塊二（72），且圓柱形滑塊一（71）與矩形滑槽一（14）滑動連接，圓柱形滑塊二（72）與矩形滑槽二（43）滑動連接，所述承載滑槽（12）的外端鉸接有定位組件（6），所述定位組件（6）包括定位塊（61），所述定位塊（61）中部設有定位孔，所述定位孔內表面設有螺紋，定位孔內配合連接有螺紋桿（62），所述螺紋桿（62）上端設有固定盤（64），螺紋桿（62）下端設有轉動板（63），所述承載滑槽（12）下方設有固定槽（65），所述固定槽（65）內設有固定板。

2.根據權利要求1所述的一種硅板機械清洗裝置，其特征在于，轉盤（2）下表面中心位置設有轉軸（21），承載底座（1）上表面中部設有轉動槽（11），所述轉軸（21）與轉動槽（11）轉動連接。

3.根據權利要求1所述的一種硅板機械清洗裝置，其特征在于，U型框（51）內壁設有橡膠層。