[發明專利]一種蒸鍍坩堝及其出氣片結構

有效

• 申請號: 201810327657.7
• 申請日: 2018-04-12
• 公開（公告）號: CN108330450B
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 喬小平;李金川
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 44238 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙)
• 代理人: 孫威;潘中毅

本發明公開了一種用于蒸鍍坩堝的出氣片結構，包括：第一出氣片，第一出氣片呈環狀，其環狀結構的外側邊緣為能夠將第一出氣片緊固在蒸鍍坩堝的坩堝內壁上的外側端，其環狀結構的內側邊緣為內側端，第一出氣片上設有若干第一出氣孔；第二出氣片，第二出氣片可旋轉的連接在第一出氣片上且能夠將第一出氣片的內側端抵壓壓緊，第二出氣片上設有若干第二出氣孔，其中：外力作用在第二出氣片上使第二出氣片相對于第一出氣片的內側端旋轉打開。本發明還公開了一種蒸鍍坩堝。實施本發明的蒸鍍坩堝及其出氣片結構，能夠有效防止坩堝口被蒸鍍材料堵塞，改善出氣片的出氣狀況；結構精簡，便于維修和維護。

技術領域

本發明涉及面板蒸鍍制程領域，尤其涉及一種蒸鍍坩堝及其出氣片結構。

背景技術

OLED具有自發光，輕薄，對比度高，易于實現柔性化等特點，是目前最有發展前景的顯示技術。真空蒸鍍是目前制備OLED器件的主流方法，材料一般裝在金屬或者陶瓷的耐高溫的蒸鍍坩堝中，即在真空腔內將有機材料加熱氣化并在襯底上成膜。

現有的用于蒸鍍坩堝的出氣片通常設計為具有出氣孔的金屬圓片，該結構的出氣片存在的技術問題是：由于蒸鍍坩堝的坩堝口距離加熱裝置的相對距離較遠，因此，坩堝口附近的溫度相較于加熱裝置附近的坩堝側壁的溫度要低。如此，加熱升華的蒸鍍材料極有可能在坩堝口附近逐漸沉積，最終會堵塞坩堝口，造成坩堝無法繼續使用。

發明內容

本發明所要解決的技術問題在于，提供一種蒸鍍坩堝及其出氣片結構，能夠有效防止坩堝口被蒸鍍材料堵塞，改善出氣片的出氣狀況；結構精簡，便于維修和維護。

為了解決上述技術問題，本發明提供了一種用于蒸鍍坩堝的出氣片結構，包括：第一出氣片，第一出氣片呈環狀，其環狀結構的外側邊緣為能夠將第一出氣片緊固在蒸鍍坩堝的坩堝內壁上的外側端，其環狀結構的內側邊緣為內側端，第一出氣片上設有若干第一出氣孔；第二出氣片，第二出氣片可旋轉的連接在第一出氣片上且能夠將第一出氣片的內側端抵壓壓緊，第二出氣片上設有若干第二出氣孔，其中：外力作用在第二出氣片上使第二出氣片相對于第一出氣片的內側端旋轉打開，第二出氣片與第一出氣片之間通過鉸鏈鉸接。

其中，第一出氣片呈圓環狀，第二出氣片為圓片狀，第二出氣片可旋轉的對接在第一出氣片的內側端上。

其中，鉸鏈為設有復位彈簧的轉軸，復位彈簧的彈力使第二出氣片與第一出氣片的內側端無縫對接；坩堝口附近沉積的材料累積到一定重量時，將克服復位彈簧的彈力使第二出氣片相對于第一出氣片的內側端旋轉打開。

其中，第一出氣片設為曲面結構，其與第二出氣片所在的平面之間設有一定的角度。

其中，第一出氣片和第二出氣片分別由金屬材料制成。

為解決上述技術問題，本發明還公開了一種蒸鍍坩堝，包括：坩堝本體，坩堝本體具有坩堝口；設置在坩堝本體外部的用以加熱升華設在坩堝本體內部蒸鍍材料的加熱裝置；以及設置在坩堝本體中的出氣片，出氣片上述用于蒸鍍坩堝的出氣片結構。

其中，加熱裝置加熱設在坩堝本體內部的蒸鍍材料，升華后的蒸鍍材料經第一出氣片上的第一出氣孔和第二出氣片上的第二出氣孔后由坩堝口噴出。

其中，第一出氣片的外側端緊固在坩堝口附近的坩堝內壁上。

實施本發明所提供的蒸鍍坩堝及其出氣片結構，具有如下有益效果：第二出氣片可旋轉的連接在第一出氣片上且能夠將第一出氣片的內側端抵壓壓緊，第二出氣片上設有若干第二出氣孔，其中：外力作用在第二出氣片上使第二出氣片相對于第一出氣片的內側端旋轉打開。當坩堝口附近沉積的材料累積到一定重量時，將克服復位彈簧的彈力使第二出氣片相對于第一出氣片的內側端旋轉打開，坩堝口的材料會掉回坩堝本體的底部，能夠有效防止坩堝口被蒸鍍材料堵塞，改善出氣片的出氣狀況；結構精簡，便于維修和維護。

附圖說明