[發明專利]一種蒸鍍坩堝及其出氣片結構有效
| 申請號： | 201810327657.7 | 申請日： | 2018-04-12 |
| 公開（公告）號： | CN108330450B | 公開（公告）日： | 2020-01-10 |
| 發明（設計）人： | 喬小平;李金川 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 44238 深圳匯智容達專利商標事務所(普通合伙) | 代理人： | 孫威;潘中毅 |
| 地址： | 518000 廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 出氣片 蒸鍍 坩堝 內側端 環狀結構 出氣孔 便于維修 可旋轉的 內側邊緣 外側邊緣 外力作用 旋轉打開 蒸鍍材料 坩堝內壁 外側端 坩堝口 出氣 緊固 堵塞 維護 | ||
1.一種用于蒸鍍坩堝的出氣片結構，其特征在于，包括：
第一出氣片，所述第一出氣片呈環狀，其環狀結構的外側邊緣為能夠將第一出氣片緊固在蒸鍍坩堝的坩堝內壁上的外側端，其環狀結構的內側邊緣為內側端，所述第一出氣片上設有若干第一出氣孔；
第二出氣片，所述第二出氣片可旋轉的連接在所述第一出氣片上且能夠將所述第一出氣片的所述內側端抵壓壓緊，所述第二出氣片上設有若干第二出氣孔，其中：
外力作用在所述第二出氣片上使所述第二出氣片相對于所述第一出氣片的所述內側端旋轉打開，所述第二出氣片與所述第一出氣片之間通過鉸鏈鉸接。
2.如權利要求1所述的用于蒸鍍坩堝的出氣片結構，其特征在于，所述第一出氣片呈圓環狀，所述第二出氣片為圓片狀，所述第二出氣片可旋轉的對接在所述第一出氣片的所述內側端上。
3.如權利要求1所述的用于蒸鍍坩堝的出氣片結構，其特征在于，所述鉸鏈為設有復位彈簧的轉軸，復位彈簧的彈力使所述第二出氣片與所述第一出氣片的所述內側端無縫對接；
坩堝口附近沉積的材料累積到一定重量時，將克服復位彈簧的彈力使所述第二出氣片相對于所述第一出氣片的所述內側端旋轉打開。
4.如權利要求2所述的用于蒸鍍坩堝的出氣片結構，其特征在于，所述第一出氣片設為曲面結構，其與所述第二出氣片所在的平面之間設有一定的角度。
5.如權利要求1所述的用于蒸鍍坩堝的出氣片結構，其特征在于，所述第一出氣片和所述第二出氣片分別由金屬材料制成。
6.一種蒸鍍坩堝，其特征在于，包括：
坩堝本體，所述坩堝本體具有坩堝口；
設置在所述坩堝本體外部的用以加熱升華設在所述坩堝本體內部蒸鍍材料的加熱裝置；以及
設置在所述坩堝本體中的出氣片，所述出氣片為權利要求1-5任一項所述的用于蒸鍍坩堝的出氣片結構。
7.如權利要求6所述的蒸鍍坩堝，其特征在于，所述加熱裝置加熱設在所述坩堝本體內部的蒸鍍材料，升華后的蒸鍍材料經所述第一出氣片上的所述第一出氣孔和所述第二出氣片上的所述第二出氣孔后由所述坩堝口噴出。
8.如權利要求7所述的蒸鍍坩堝，其特征在于，所述第一出氣片的所述外側端緊固在所述坩堝口附近的坩堝內壁上。
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