[發明專利]一種多尺寸兼容的LED厚度檢測的自動化設備及其檢測方法

有效

• 申請號: 201810321347.4
• 申請日: 2018-04-11
• 公開（公告）號: CN108288593B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發明（設計）人: 周俊晨;陸敏杰
• 申請（專利權）人: 無錫星微科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L33/00
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 崔婕

1.一種多尺寸兼容的?LED?厚度檢測的自動化設備，包括晶圓盒庫（1）、機械手（2）、預對準平臺（3）和大理石氣浮臺（4），其特征在于：所述機械手（2）的一側設置有晶圓盒庫（1），所述機械手（2）的另一側且與晶圓盒庫（1）成九十度的位置設置有預對準平臺（3），所述機械手（2）遠離晶圓盒庫（1）的一側設置有大理石氣浮臺（4）；?所述晶圓盒庫（1）的內部設置有晶圓盒適配器（11），所述晶圓盒適配器（11）設置有多個，多個所述晶圓盒適配器（11）共分為上下兩層，所述晶圓盒適配器（11）的前端設置有第二傳感器（14），所述第二傳感器（14）靠近晶圓盒適配器（11）的底部設置有第一傳感器（13），所述晶圓盒適配器（11）的上方設置有2英寸晶圓盒（15）或者4英寸晶圓盒（12）；?所述機械手（2）的一側設置有機械手?L軸臂（22），且機械手（2）的另一側設置有機械手R軸臂（25），所述機械手R軸臂（25）與L軸臂（22）的一側均設置有抓取手（21），且機械手?R?軸臂（25）與?L?軸臂（22）共同的另一側設置有機械手?Z?軸臂（24），所述機械手?L?軸臂（22）的尾端設置有第三傳感器（23）；?所述預對準平臺（3）的一側設置有CCD檢測儀（31），且預對準平臺（3）的另一側設置有調整臺（32）；所述大理石氣浮臺（4）的中間位置設置有厚度檢測傳感器（41），上下共兩個，同心設置，所述兩個厚度檢測傳感器（41）的中間位置設置有兼容2,4寸的檢測載物運動臺（42）；所述晶圓盒適配器（11）兼容?2?英寸的晶圓盒（15）和?4?英寸的晶圓盒（12）；所述調整臺（32）由三個運動軸組成，所述三個運動軸分別為水平方向的直線運動軸X、豎直方向的直線運動軸Z以及旋轉軸R組成，所述檢測載物運動臺（42）能夠在水平面上做X,Y兩維運動。

2.根據權利要求1所述的一種多尺寸兼容的LED厚度檢測的自動化設備，其特征在于：所述晶圓盒庫（1）、預對準平臺（3）和大理石氣浮臺（4）均安裝在以機械手Z軸臂（24）為圓心的不同半徑的圓上。

3.根據權利要求1所述的一種多尺寸兼容的LED厚度檢測的自動化設備，其特征在于：所述兩個厚度檢測傳感器（41）能夠在豎直方向進行微調。