[發(fā)明專(zhuān)利]分離裝置及分離方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810319555.0
• 申請(qǐng)日: 2018-04-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108933094B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 河崎仁彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 琳得科株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/78
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳蘊(yùn)輝

一種能夠切實(shí)地使粘接片材的端部保持在分離用保持機(jī)構(gòu)的分離裝置及分離方法。該分離裝置具備：多個(gè)分離用保持機(jī)構(gòu)，保持一體物中粘接片材的端部，一體物的粘接片材的一個(gè)表面和另一個(gè)表面的至少一個(gè)粘貼有多個(gè)被粘接體或被分割為多個(gè)的被粘接體；分離機(jī)構(gòu)，使保持粘接片材的端部的分離用保持機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)，對(duì)粘接片材賦予張力，擴(kuò)大被粘接體相互間隔，具有轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，保持一體物并將一體物轉(zhuǎn)移至多個(gè)分離用保持機(jī)構(gòu)，轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)具備：多個(gè)轉(zhuǎn)移用保持機(jī)構(gòu)，保持一體物中粘接片材的另外端部；張力賦予機(jī)構(gòu)，使保持粘接片材的另外端部的轉(zhuǎn)移用保持機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)，對(duì)包含分離用保持機(jī)構(gòu)保持的端部的粘接片材外緣部賦予規(guī)定的張力；輸送機(jī)構(gòu)，輸送通過(guò)轉(zhuǎn)移用保持機(jī)構(gòu)保持的一體物。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及分離裝置及分離方法。

背景技術(shù)

以往，已知擴(kuò)大粘貼于粘接片材的多個(gè)被粘接體的相互間隔的分離裝置(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1:(日本)特開(kāi)2014-232843號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的問(wèn)題

然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1記載的現(xiàn)有的分離裝置中，粘貼有晶片W(被粘接體)的切割帶S(粘接片材)被粘貼在例如框架F的框狀部件上，并被轉(zhuǎn)移至拉伸機(jī)構(gòu)26(分離用保持機(jī)構(gòu))，因此，如果沒(méi)有這樣的框狀部件，會(huì)發(fā)生粘接片材的端部下垂或擺動(dòng)，不能切實(shí)地將該粘接片材的端部轉(zhuǎn)移至分離用保持機(jī)構(gòu)的不良情況。

本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠切實(shí)地使粘接片材的端部保持在分離用保持機(jī)構(gòu)的分離裝置及分離方法。

解決問(wèn)題的手段

本發(fā)明采用技術(shù)方案中記載的結(jié)構(gòu)。

發(fā)明能實(shí)現(xiàn)的效果

根據(jù)本發(fā)明，對(duì)包含分離用保持機(jī)構(gòu)保持的端部的粘接片材的外緣部賦予規(guī)定的張力，將一體物轉(zhuǎn)移至分離用保持機(jī)構(gòu)，因此，粘接片材的端部不會(huì)下垂或擺動(dòng)，能夠切實(shí)地使該粘接片材的端部保持在分離用保持機(jī)構(gòu)。

附圖說(shuō)明

圖1(A)是本發(fā)明的實(shí)施方式的分離裝置的俯視圖。圖1(B)、(C)是圖1(A)的側(cè)面圖和其動(dòng)作說(shuō)明圖。

圖2(A)～(B)是本發(fā)明的其他例子的說(shuō)明圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

10、10A分離裝置

20分離用保持機(jī)構(gòu)

30、30A分離機(jī)構(gòu)

40轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)

41轉(zhuǎn)移用保持機(jī)構(gòu)

42張力賦予機(jī)構(gòu)

43輸送機(jī)構(gòu)

60抵接機(jī)構(gòu)

AE1端部

AE2另外的端部

AS粘接片材

AS1一個(gè)表面

AS2另一個(gè)表面

CE被粘接體粘接區(qū)域

CP被粘接體

HE保持區(qū)域

WK一體物

具體實(shí)施方式

以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。