[發明專利]對齊工具及轉印裝置

在審

• 申請號: 201810319553.1
• 申請日: 2018-04-11
• 公開（公告）號: CN108987322A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 毛受利彰
• 申請（專利權）人: 琳得科株式會社
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳蘊輝

1.一種對齊工具，其特征在于，

在多個被粘接體之間配置抵接部件，使所述被粘接體的外壁抵接于該抵接部件的側壁，使該被粘接體對齊，

所述對齊工具在所述側壁具備與所述被粘接體的外壁點接觸或線接觸的凸部。

2.一種轉印裝置，其特征在于，具備：

保持機構，其將一體物從被粘接體側吸引至保持面并進行保持，所述一體物為在第一粘接片材的一個表面上粘貼有多個被粘接體或被分割為多個的被粘接體的一體物；

剝離機構，其從所述保持面上保持的所述一體物剝離所述第一粘接片材；

對齊工具，其在所述保持面上保持的所述被粘接體之間配置抵接部件，使所述被粘接體的外壁抵接于該抵接部件的側壁，使該被粘接體對齊；

移動機構，其使所述保持機構和抵接部件相對移動，

所述對齊工具在所述側壁具備與所述被粘接體的外壁點接觸或線接觸的凸部。

3.如權利要求2所述的轉印裝置，其特征在于，

具備粘貼機構，其在所述保持面上對齊的所述被粘接體上粘貼第二粘接片材。

4.如權利要求2或3所述的轉印裝置，其特征在于，

所述保持機構構成為，通過吸附保持對所述被粘接體進行保持，

所述轉印裝置具備襯底機構，其配置在所述多個被粘接體和所述保持面之間，具備吸引孔，該吸引孔設置為僅位于所述多個被粘接體各自的被支承面內，吸引力施加至各被粘接體。