[發明專利]一種硅片清洗設備

有效

• 申請號: 201810317877.1
• 申請日: 2018-04-10
• 公開（公告）號: CN108417515B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 葉敏
• 申請（專利權）人: 寧波德深機械設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙) 50217
• 代理人: 陳家輝

1.一種硅片清洗設備，包括用于盛放硅片清洗液的清洗筒，所述清洗筒內氣密性配合有活塞板，所述活塞板固設有穿過清洗筒內底的活塞桿，所述活塞桿通過動力機構帶動進行上下移動，所述清洗筒固設有噴嘴，其特征在于：

所述清洗筒中部固設有清洗板，所述清洗板上開設有多個通孔，所述通孔內均固設有紅外加熱管，所述紅外加熱管與通孔的內壁間具有空隙，所述紅外加熱管的外壁上均套設有導熱透明的防水套；

所述噴嘴朝向清洗筒中心一側傾斜向下，所述清洗筒上設有多根導管，每根所述導管的一端連接在靠近清洗板底側處的清洗筒筒壁上，每根所述導管的另一端與噴嘴可拆卸連接；

所述清洗筒筒壁連接導管處均設有擋片，所述擋片在清洗筒筒壁上形成供清洗液流入導管的溢流通道，所述活塞板開設有可供擋片插入的插孔，所述插孔內設有用于封住插孔的彈性封片，所述擋片可與彈性封片間隙配合。

2.根據權利要求1所述的硅片清洗設備，其特征在于：所述活塞桿位于清洗筒外的端部上固設有齒條，所述動力機構包括安裝板，所述安裝板上轉動連接有轉盤，所述轉盤上偏心固定有導柱，所述安裝板上鉸接有杠桿部，所述杠桿部包括扇齒板和導柄，所述扇齒板可與齒條嚙合，所述導柄上開設有條形的導孔，所述導孔空套在導柱上。

3.根據權利要求1所述的硅片清洗設備，其特征在于：所述清洗筒的頂端處設有拍攝器，所述拍攝器用于拍攝硅片在清洗過程中的圖片。

4.根據權利要求1所述的硅片清洗設備，其特征在于：所述導管的直徑小于通孔的直徑。

5.根據權利要求1所述的硅片清洗設備，其特征在于：所述通孔內固設有多個形成反射路徑的反射板。

6.根據權利要求1所述的硅片清洗設備，其特征在于：所述防水套通過支條連接到通孔內壁上，所述支條均勻分布在防水套的周側上。