[發明專利]一種PCB背鉆對準度的測試結構和方法有效
| 申請號: | 201810315611.3 | 申請日: | 2018-04-10 |
| 公開(公告)號: | CN108511360B | 公開(公告)日: | 2021-05-25 |
| 發明(設計)人: | 萬里鵬;劉夢茹;紀成光 | 申請(專利權)人: | 生益電子股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
| 地址: | 523127 廣東省東莞*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 pcb 對準 測試 結構 方法 | ||
1.一種PCB背鉆對準度的測試結構,其特征在于,包括:多個由一個一鉆孔和多個參考孔組成的測試單元;
所述測試單元中,多個所述參考孔圍繞所述一鉆孔設置,所述一鉆孔與每個所述參考孔的孔心距相等;
所述一鉆孔經過背鉆獲得背鉆孔,所述背鉆孔的圓心與所述一鉆孔的圓心重合時,所述背鉆孔的孔壁到所述參考孔的孔壁的最小距離為設定的孔間距;
多個所述測試單元對應多個所述孔間距的取值,相鄰兩個所述測試單元具有共同的所述參考孔。
2.根據權利要求1所述的測試結構,其特征在于:
所述測試結構設置在PCB的線路圖形單元的四周。
3.根據權利要求1所述的測試結構,其特征在于:
所述孔間距的取值為1mil至10mil;
多組所述測試單元之間,所述孔間距的差距為0.1mil至1mil。
4.一種PCB背鉆對準度的測試方法,其特征在于:
在PCB上設置權利要求1至3任一項所述的測試結構;
通過所述背鉆孔與所述參考孔的位置關系確定背鉆對準度。
5.根據權利要求4所述的測試方法,其特征在于,通過所述背鉆孔與所述參考孔的位置關系確定背鉆對準度,包括:
對一個測試結構上的每個測試單元進行判斷,若所述背鉆孔與所述測試單元中的每個參考孔均相離,則所述測試結構上相應的測試單元中,背鉆孔與參考孔的孔間距的最小取值為背鉆對準度。
6.根據權利要求4或5所述的測試方法,其特征在于,在PCB上設置測試結構,包括:
在PCB上線路圖形單元的四周分別設置一個測試結構,作為一組測試結構;
為PCB上不同直徑的背鉆孔分別設置至少一組測試結構。
7.根據權利要求5所述的測試方法,其特征在于,通過所述背鉆孔與所述參考孔的位置關系確定背鉆對準度之后,還包括:
根據所述背鉆對準度確定是否進行生產。
8.根據權利要求7所述的測試方法,其特征在于,根據所述背鉆對準度確定是否進行生產,包括:
若背鉆對準度大于預設需求對準度,則背鉆對準度不足,不進行生產,調整背鉆的鉆孔參數;
若背鉆對準度小于或等于預設需求對準度,則可以進行生產。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





