[發明專利]玻璃硬化光學鍍膜腔體

在審

• 申請號: 201810306795.7
• 申請日: 2018-04-08
• 公開（公告）號: CN108342696A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 瞿建強;瞿一濤;黃仕強;陸彬鋒
• 申請（專利權）人: 江陰市光科真空機械有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 江陰義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 王威欽

本發明公開了玻璃硬化光學鍍膜腔體，包括腔體本體，腔體本體由腔體頂板、腔體底板及腔體側板構成，腔體頂板和腔體底板相對設置且平行設置，腔體側板垂直于腔體頂板設置，腔體底板上固定設置靶材，靶材由若干個絲狀或扁條狀的靶材體構成，靶材體在腔體底板上均勻設置。本發明提前將靶材加工成若干個絲狀或扁條狀的靶材體，這樣等于在腔體底板上均勻攤鋪靶材，避免了蒸鍍蒸汽在基材上散布不均，在基材上鍍得的膜厚薄均一；冷卻套和加熱套的設置使得對腔體頂板和腔體側板的冷卻更均勻、腔體底板的加熱更均勻，并且簡化了冷卻結構，省去了真空腔體的冷卻水管。

技術領域

本發明涉及玻璃硬化光學鍍膜腔體。

背景技術

OLED，即有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機電激光顯示(Organic Electroluminesence Display，OLED)。因為具備輕薄、省電等特性，因此在數碼產品的顯不屏上得到了廣泛應用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應用都聚焦在平板顯不器上，因為OLED是唯一在應用上能和TFT-LCD相提并論的技術，OLED是目前所有顯示技術中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術，可以做成和紙張一樣的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空鍍膜工藝是OLED制作流程中一個很重要的工藝，真空鍍膜是指在真空腔體中把蒸發源加熱蒸發或用加速離子轟擊濺射，沉積到基片表面形成單層或多層薄膜。因為它是關系到OLED的品質高低及壽命長短的最重要因素之一，所以應用于真空鍍膜工藝上的各種設備必須滿足真空鍍膜工藝的精度要求。

現在的蒸鍍工藝都需要經歷抽真空、加熱及鍍膜等一系列過程，而在鍍膜之前的加熱過程中，由于靶材都是放在腔體底板中部，但這樣靶材等于是聚成一團接收加熱源的加熱，僅位于腔體頂板中部的基材上蒸鍍蒸汽較多，而位于腔體頂板非中部的基材則鍍得的膜比較薄，無法做到蒸鍍蒸汽在基材上散布均勻。

發明內容

本發明的目的在于，克服現有技術中存在的缺陷，提供玻璃硬化光學鍍膜腔體，能夠避免蒸鍍蒸汽在基材上散布不均，在基材上鍍得的膜厚薄均一；對腔體頂板和腔體側板的冷卻更均勻、腔體底板的加熱更均勻，并且簡化了冷卻結構，省去了真空腔體的冷卻水管。

為實現上述目的，本發明的技術方案是設計玻璃硬化光學鍍膜腔體，包括腔體本體，腔體本體由腔體頂板、腔體底板及腔體側板構成，腔體頂板和腔體底板相對設置且平行設置，腔體側板垂直于腔體頂板設置，腔體底板上固定設置靶材，靶材由若干個絲狀或扁條狀的靶材體構成，靶材體在腔體底板上均勻設置。這樣將原先聚成一團的置于腔體底板中部的靶材分散成多個條或絲，然后均布在腔體底板上，相當于在腔體底板上均勻攤鋪靶材，這樣整個腔體頂板上不論設置多少塊基材，不論基材怎么布置，蒸鍍蒸汽都能均勻分散到腔體頂板上，所以能夠均勻沉積，做到每一個基材的鍍膜都膜厚一致。

進一步的技術方案是，腔體還包括包覆設置在腔體本體外表面上的冷卻套，冷卻套呈槽狀，槽內壁的形狀與腔體本體上部分的外形相適配，冷卻套上設置通入冷卻介質的入口和回收冷卻介質的出口。冷卻套套設在腔體本體的上部，這樣不像以往還需要在腔體外表或內壁焊接呈S形設置的冷卻水管，使得腔體的冷卻結構變得簡單，并且通過這種冷卻套的方式，將腔體本體均勻包覆，冷卻效果相比冷卻水管要更均勻，因為冷卻水管之間存在間隙，而冷卻水管處冷卻效果在初始階段是高于未設冷卻水管處的冷卻效果的，但這種冷卻套的方式則冷卻效果很均一；冷卻套上設置通入冷卻介質的入口和回收冷卻介質的出口能夠將冷卻介質循環利用。

進一步的技術方案是，冷卻套包括緊貼腔體本體外表面上的金屬材質的導熱面；冷卻介質為冷卻水或冷卻空氣。這樣冷卻套中緊靠腔體本體的那一層為導熱效果好的金屬材質，冷卻套的其他表面可以采用隔熱效果好的材料如陶瓷等；也可以整個冷卻套都采用金屬材質制成，加工方便，還使得冷卻后的冷卻套可以將部分熱量傳遞給冷卻套外的空氣。