[發明專利]玻璃硬化光學鍍膜腔體

在審

• 申請號: 201810306795.7
• 申請日: 2018-04-08
• 公開（公告）號: CN108342696A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 瞿建強;瞿一濤;黃仕強;陸彬鋒
• 申請（專利權）人: 江陰市光科真空機械有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 江陰義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 王威欽

1.玻璃硬化光學鍍膜腔體，其特征在于，包括腔體本體，腔體本體由腔體頂板、腔體底板及腔體側板構成，腔體頂板和腔體底板相對設置且平行設置，腔體側板垂直于腔體頂板設置，腔體底板上固定設置靶材，靶材由若干個絲狀或扁條狀的靶材體構成，靶材體在腔體底板上均勻設置。

2.根據權利要求1所述的玻璃硬化光學鍍膜腔體，其特征在于，所述腔體還包括包覆設置在腔體本體外表面上的冷卻套，冷卻套呈槽狀，槽內壁的形狀與腔體本體上部分的外形相適配，冷卻套上設置通入冷卻介質的入口和回收冷卻介質的出口。

3.根據權利要求2所述的玻璃硬化光學鍍膜腔體，其特征在于，冷卻套包括緊貼腔體本體外表面上的金屬材質的導熱面；冷卻介質為冷卻水或冷卻空氣。

4.根據權利要求3所述的玻璃硬化光學鍍膜腔體，其特征在于，所述腔體還包括設置在腔體底板下方的加熱套，加熱套呈殼體結構且其上表面緊貼腔體底板的下面，加熱套的上表面采用金屬材質制成，加熱套的兩個相對側面分別設置熱油進口和熱油出口，熱油進口與熱油出口位于側面上靠近頂端處。

5.根據權利要求4所述的玻璃硬化光學鍍膜腔體，其特征在于，所述加熱套下包覆設置槽狀的保溫套，保溫套采用絕熱材質制成，保溫套的頂端低于熱油進口及熱油出口，保溫套其槽內壁的形狀與加熱套外形相適配。