[發(fā)明專利]一種圖像傳感器及其器件鄰近結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810302072.X
• 申請日: 2018-04-04
• 公開（公告）號: CN108336105B
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設計）人: 孫鵬;王喜龍;胡勝
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種圖像傳感器的器件鄰近結構，其特征在于，包括：

襯底，所述襯底中制備有像素器件，所述像素器件中包括至少一個白光光電二極管；

第一氧化層，覆蓋所述襯底的上表面；

氧化鋁層，覆蓋所述第一氧化層的上表面；

其中，所述襯底中形成有圍繞于所述白光光電二極管周圍的耗盡層，所述氧化鋁層使所述耗盡層拓寬。

2.根據(jù)權利要求1所述的器件鄰近結構，其特征在于，還包括：

第二氧化層，覆蓋所述氧化鋁層的上表面。

3.根據(jù)權利要求2所述的器件鄰近結構，其特征在于，所述第二氧化層為二氧化硅。

4.根據(jù)權利要求1所述的器件鄰近結構，其特征在于，所述第一氧化層為二氧化硅。

5.根據(jù)權利要求1所述的器件鄰近結構，其特征在于，所述襯底為硅。

6.一種圖像傳感器，其特征在于，應用如權利要求1～5中任一所述的器件鄰近結構。

7.根據(jù)權利要求6所述的圖像傳感器，其特征在于，所述圖像傳感器為前照式圖像傳感器。

8.根據(jù)權利要求6所述的圖像傳感器，其特征在于，所述圖像傳感器為背照式圖像傳感器。