[發明專利]檢查裝置、檢查方法及膜卷繞體的制造方法

有效

• 申請號: 201810292650.6
• 申請日: 2018-03-30
• 公開（公告）號: CN108693199B
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發明（設計）人: 加集功士;四宮由隆
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04;H01M50/403;H01M10/0525
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

1.一種檢查裝置，其特征在于，具備：

射線源，其從檢查對象物的厚度方向對所述檢查對象物呈放射狀射出電磁波；

TDI傳感器，其相對于所述檢查對象物設置于與所述射線源相反的一側，對透過所述檢查對象物的所述電磁波進行檢測；以及

移動機構，其一邊將所述射線源與所述檢查對象物的距離以及所述射線源與所述TDI傳感器的距離保持為大致固定，一邊使所述檢查對象物中的檢查區域移動，

所述檢查對象物是具備圓筒形狀的芯部和卷繞于所述芯部的外周面的膜的膜卷繞體，

所述射線源包括第一射線源以及第二射線源，

對所述第一射線源以及所述第二射線源而言，各射線源的間隔設定為與所述芯部的直徑大致一致，以避免從各射線源呈放射狀射出的電磁波被所述芯部遮擋。

2.根據權利要求1所述的檢查裝置，其中，

所述移動機構使所述檢查對象物沿著以穿過所述第一射線源以及所述第二射線源的線為大致中心的圓形軌道移動。

3.根據權利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述TDI傳感器以與所述圓形軌道大致平行的方式彎曲。

4.根據權利要求2所述的檢查裝置，其中，

所述移動機構使所述檢查對象物在位于所述圓形軌道上的第一地點與第二地點之間多次進行往復移動。

5.根據權利要求4所述的檢查裝置，其中，

所述TDI傳感器在所述檢查對象物從所述第一地點朝向所述第二地點移動的期間對透過所述檢查對象物的所述電磁波進行檢測。

6.根據權利要求5所述的檢查裝置，其中，

所述移動機構在所述檢查對象物從所述第二地點朝向所述第一地點移動的期間使所述檢查對象物以沿著所述厚度方向延伸的軸為大致中心進行旋轉。

7.根據權利要求4所述的檢查裝置，其中，

所述TDI傳感器在所述檢查對象物從所述第一地點朝向所述第二地點移動的期間以及所述檢查對象物從所述第二地點朝向所述第一地點移動的期間對透過所述檢查對象物的所述電磁波進行檢測。

8.根據權利要求7所述的檢查裝置，其中，

所述移動機構在所述檢查對象物從所述第一地點到達所述第二地點時以及所述檢查對象物從所述第二地點到達所述第一地點時，使所述檢查對象物以沿著所述厚度方向延伸的軸為大致中心進行旋轉。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的檢查裝置，其中，

所述檢查對象物的從所述厚度方向觀察時的外形為大致圓形。

10.根據權利要求1至8中任一項所述的檢查裝置，其中，

所述電磁波為X射線。

11.一種檢查方法，其特征在于，包括：

射出工序，在該射出工序中，自射線源從檢查對象物的厚度方向對所述檢查對象物呈放射狀射出電磁波；

移動工序，在該移動工序中，使所述檢查對象物中的檢查區域移動；以及

檢測工序，在該檢測工序中，由TDI傳感器對透過所述檢查對象物的所述電磁波進行檢測，

在所述移動工序中，一邊將所述射線源與所述檢查對象物的距離以及所述射線源與所述TDI傳感器的距離保持為大致固定，一邊使所述檢查區域移動，

所述檢查對象物是具備圓筒形狀的芯部和卷繞于所述芯部的外周面的膜的膜卷繞體，

所述射線源包括第一射線源以及第二射線源，

對所述第一射線源以及所述第二射線源而言，各射線源的間隔設定為與所述芯部的直徑大致一致，以避免從各射線源呈放射狀射出的電磁波被所述芯部遮擋。

12.根據權利要求11所述的檢查方法，其中，

在所述移動工序中，使所述檢查區域沿著以穿過所述第一射線源以及所述第二射線源的線為大致中心的圓形軌道移動。