[發(fā)明專利]一種材料吸氣放氣率測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810283087.6
• 申請(qǐng)日: 2018-04-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108387691B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金炯;楊林;姜瓊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州賽威斯真空技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N33/00
• 分類號(hào): G01N33/00
• 代理公司: 杭州天欣專利事務(wù)所(普通合伙) 33209
• 代理人: 陳紅

1.一種材料吸氣放氣率測(cè)試裝置，包括設(shè)置在工作面上的吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)、進(jìn)出樣室和進(jìn)出樣分子泵，所述的進(jìn)出樣室連接所述的進(jìn)出樣分子泵，其特征在于：所述的吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)交叉設(shè)置，交叉點(diǎn)為進(jìn)出樣室，所述的吸氣測(cè)試系統(tǒng)包括吸氣送樣桿、吸氣性能測(cè)試室、第一流導(dǎo)管選擇閥和進(jìn)氣管微漏閥，所述的進(jìn)出樣室一端連接吸氣送樣桿，所述的進(jìn)出樣室的另一端連接吸氣性能測(cè)試室，所述的放氣測(cè)試系統(tǒng)包括放氣送樣桿、放氣性能測(cè)試室和第二流導(dǎo)管選擇閥，進(jìn)出樣室的一端連接放氣送樣桿，進(jìn)出樣室的另一端連接放氣性能測(cè)試室，還設(shè)置有第一管道、第二管道和第三管道，所述的第一管道和第二管道分別連接吸氣性能測(cè)試室，在所述的吸氣性能測(cè)試室和所述的第一管道之間設(shè)置有吸氣隔斷插板閥，在所述的放氣性能測(cè)試室和所述的第一管道之間設(shè)置有放氣隔斷插板閥，放氣測(cè)試系統(tǒng)依據(jù)破壞前放氣性能測(cè)試室的真空度和破壞后的放氣性能測(cè)試室的真空度推算出殘余氣體的真空度；所述的第三管道連接放氣性能測(cè)試室，在第一管道和第三管道之間設(shè)置有第二流導(dǎo)管選擇閥，在第二管道和第一管道之間設(shè)置有第一流導(dǎo)管選擇閥，在第一管道上設(shè)置有兩個(gè)進(jìn)氣管微漏閥；在所述的進(jìn)出樣室和吸氣送樣桿之間設(shè)置有第三閥門(mén)，在所述的進(jìn)出樣室和放氣送樣桿之間設(shè)置有第四閥門(mén)；所述的第一流導(dǎo)管選擇閥設(shè)置有六個(gè)，第二流導(dǎo)管選擇閥設(shè)置有三個(gè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的材料吸氣放氣率測(cè)試裝置，其特征在于：所述的吸氣性能測(cè)試室內(nèi)設(shè)置有石墨加熱片、熱電偶、第一熱陰極電離規(guī)和磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)，石墨加熱片，由熱電偶隨時(shí)測(cè)量吸氣性能測(cè)試室內(nèi)的溫度，所述的第一熱陰極電離規(guī)用于測(cè)試實(shí)驗(yàn)中的實(shí)時(shí)真空度，所述的磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)用于校準(zhǔn)第一熱陰極電離規(guī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的材料吸氣放氣率測(cè)試裝置，其特征在于：所述的放氣性能測(cè)試室內(nèi)設(shè)置有第二熱陰極電離規(guī)、薄膜真空規(guī)和芯片破壞裝置，所述的第二熱陰極電離規(guī)測(cè)試破壞前所述的放氣性能測(cè)試室的真空度，所述的薄膜真空規(guī)測(cè)試破壞后的所述的放氣性能測(cè)試室的真空度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的材料吸氣放氣率測(cè)試裝置，其特征在于：還設(shè)置有殘余氣體分析儀，所述的殘余氣體分析儀連接放氣性能測(cè)試室。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的材料吸氣放氣率測(cè)試裝置，其特征在于：還設(shè)置有控制系統(tǒng)，所述的控制系統(tǒng)連接吸氣測(cè)試系統(tǒng)和放氣測(cè)試系統(tǒng)。