[發明專利]一種改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置及方法

在審

• 申請號: 201810276619.3
• 申請日: 2018-03-30
• 公開（公告）號: CN108422323A
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 同小剛
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: B24B55/00
• 分類號: B24B55/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，包括：

機臺，具有報警系統，所述報警系統針對各類異常輸出報警信息；

機臺主系統，與所述機臺電訊號連接，并接收來自所述機臺之報警系統的報警信息；以及，

報警恢復系統，與所述機臺主系統電訊號連接，用以接收來自機臺主系統所傳輸的報警信息，并對所述報警信息進行分類，進而根據所述報警信息之所屬分類發出報警操作指令，以反饋至機臺主系統，最終通過機臺進行指令操作。

2.如權利要求1所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，所述機臺用以進行銅研磨制程。

3.如權利要求1所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，所述機臺之正常工藝狀態發生異常時所述報警系統輸出報警信息。

4.如權利要求1所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，所述報警信息為：I類報警，所述I類報警之異常為機臺的至少其中之一關鍵部件異常；II類報警，所述II類報警之異常為研磨液異常、制品消耗品到壽命需更換異常的至少其中之一；III類報警，所述III類報警之異常為清洗單元異常；IV類報警，所述IV類報警之異常為終點監測系統異常、研磨部件異常的至少其中之一。

5.如權利要求4所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，所述關鍵部件為HCLU、干燥部件、電源的至少其中之一。

6.如權利要求4所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，針對I類報警，所述報警恢復系統發出的報警操作指令為機臺停止。

7.如權利要求4所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，針對II類報警，所述報警恢復系統發出的報警操作指令為機臺正常運轉，機臺之腔體內的制品正常完成，后續制品不連續進入機臺。

8.如權利要求4所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，針對III類報警，所述報警恢復系統發出的報警操作指令為機臺正常運轉，非關鍵異常腔體內的制品保持位置不變，后續制品跳過異常單元繼續進行，但后續制品不連續進入機臺。

9.如權利要求4所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置，其特征在于，針對IV類報警，所述報警恢復系統發出的報警操作指令為機臺停止并促發自動恢復功能，自動回收制品到開始位置。

10.一種如權利要求1所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置之方法，其特征在于，所述改善銅研磨機臺報警造成制品報廢的裝置之方法，包括：

執行步驟S1：所述機臺之報警系統針對各類異常輸出報警信息；

執行步驟S2：與所述機臺電訊號連接的機臺主系統接收來自所述機臺之報警系統的報警信息，并將所述報警信息輸出至報警恢復系統；

執行步驟S3：與所述機臺主系統電訊號連接的報警恢復系統接收來自機臺主系統所傳輸的報警信息，并對所述報警信息進行分類，進而根據所述報警信息之所屬分類發出報警操作指令；

執行步驟S4：所述報警恢復系統發出的報警操作指令反饋至機臺主系統，最終通過機臺進行指令操作。