[發(fā)明專(zhuān)利]一種改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置及方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810276619.3
• 申請(qǐng)日: 2018-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108422323A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 同小剛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B55/00
• 分類(lèi)號(hào): B24B55/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

本發(fā)明公開(kāi)一種改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置及方法。改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置包括：機(jī)臺(tái)，具有報(bào)警系統(tǒng)，并針對(duì)各類(lèi)異常輸出報(bào)警信息；機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)，與機(jī)臺(tái)電訊號(hào)連接，并接收來(lái)自報(bào)警系統(tǒng)的報(bào)警信息；報(bào)警恢復(fù)系統(tǒng)，與機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)電訊號(hào)連接，用以接收來(lái)自機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)所傳輸?shù)膱?bào)警信息，并對(duì)報(bào)警信息進(jìn)行分類(lèi)，進(jìn)而根據(jù)所屬分類(lèi)發(fā)出報(bào)警操作指令，以反饋至機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)，最終通過(guò)機(jī)臺(tái)進(jìn)行指令操作。本發(fā)明對(duì)于機(jī)臺(tái)可自動(dòng)恢復(fù)的報(bào)警信息，促發(fā)所述改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置對(duì)腔體內(nèi)的制品實(shí)現(xiàn)自動(dòng)傳送，輸出機(jī)臺(tái)，便最大可能的避免由于機(jī)臺(tái)報(bào)警未及時(shí)有效處理造成產(chǎn)品報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置及方法。

背景技術(shù)

眾所周知地，銅研磨制程由于機(jī)臺(tái)報(bào)警而造成的產(chǎn)品報(bào)廢，已經(jīng)占據(jù)銅研磨制程中整個(gè)制品報(bào)廢的65％左右，其報(bào)廢的主要原因是機(jī)臺(tái)報(bào)警之后，而工程師沒(méi)有在三分鐘之內(nèi)進(jìn)行有效處理，進(jìn)而造成整個(gè)腔體內(nèi)的制品受到化學(xué)品腐蝕的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，使銅線形成嚴(yán)重?fù)p傷，造成產(chǎn)品報(bào)廢。

目前，銅研磨制程中對(duì)于處理銅研磨制程機(jī)臺(tái)報(bào)警主要的處理方式仍然集中在人力的管控上，工程師必須值守在車(chē)間里以及強(qiáng)化處理流程等。但是，這種控制方式在量產(chǎn)產(chǎn)品的車(chē)間里雖然投入了較大的人力，但卻無(wú)法取得良好的效果，還是需要從技術(shù)角度去避免人力的投入，同時(shí)實(shí)現(xiàn)高效的報(bào)警處理。

尋求一種可以對(duì)機(jī)臺(tái)報(bào)警進(jìn)行高效、及時(shí)處理的裝置和方法已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題之一。故針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置及方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，銅研磨制程中對(duì)于處理銅研磨制程機(jī)臺(tái)報(bào)警主要的處理方式仍然集中在人力的管控上，工程師必須值守在車(chē)間里以及強(qiáng)化處理流程，雖然投入人力較大，但效果欠佳等缺陷提供一種改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置。

本發(fā)明之又一目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，銅研磨制程中對(duì)于處理銅研磨制程機(jī)臺(tái)報(bào)警主要的處理方式仍然集中在人力的管控上，工程師必須值守在車(chē)間里以及強(qiáng)化處理流程，雖然投入人力較大，但效果欠佳等缺陷提供一種改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的方法。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明之目的，本發(fā)明提供一種改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置，所述改善銅研磨機(jī)臺(tái)報(bào)警造成制品報(bào)廢的裝置，包括：機(jī)臺(tái)，具有報(bào)警系統(tǒng)，所述報(bào)警系統(tǒng)針對(duì)各類(lèi)異常輸出報(bào)警信息；機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)，與所述機(jī)臺(tái)電訊號(hào)連接，并接收來(lái)自所述機(jī)臺(tái)之報(bào)警系統(tǒng)的報(bào)警信息；以及報(bào)警恢復(fù)系統(tǒng)，與所述機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)電訊號(hào)連接，用以接收來(lái)自機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)所傳輸?shù)膱?bào)警信息，并對(duì)所述報(bào)警信息進(jìn)行分類(lèi)，進(jìn)而根據(jù)所述報(bào)警信息之所屬分類(lèi)發(fā)出報(bào)警操作指令，以反饋至機(jī)臺(tái)主系統(tǒng)，最終通過(guò)機(jī)臺(tái)進(jìn)行指令操作。

可選地，所述機(jī)臺(tái)用以進(jìn)行銅研磨制程。

可選地，所述機(jī)臺(tái)之正常工藝狀態(tài)發(fā)生異常時(shí)所述報(bào)警系統(tǒng)輸出報(bào)警信息。

可選地，所述報(bào)警信息為：I類(lèi)報(bào)警，所述I類(lèi)報(bào)警之異常為機(jī)臺(tái)之至少其中之一關(guān)鍵部件異常；II類(lèi)報(bào)警，所述II類(lèi)報(bào)警之異常為研磨液異常、制品消耗品到壽命需更換異常的至少其中之一；III類(lèi)報(bào)警，所述III類(lèi)報(bào)警之異常為清洗單元異常；IV類(lèi)報(bào)警，所述IV類(lèi)報(bào)警之異常為終點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)異常、研磨部件異常的至少其中之一。

可選地，所述關(guān)鍵部件為HCLU、干燥部件、電源的至少其中之一。

可選地，針對(duì)I類(lèi)報(bào)警，所述報(bào)警恢復(fù)系統(tǒng)發(fā)出的報(bào)警操作指令為機(jī)臺(tái)停止。

可選地，針對(duì)II類(lèi)報(bào)警，所述報(bào)警恢復(fù)系統(tǒng)發(fā)出的報(bào)警操作指令為機(jī)臺(tái)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，機(jī)臺(tái)之腔體內(nèi)的制品正常完成，后續(xù)制品不連續(xù)進(jìn)入機(jī)臺(tái)。