[發(fā)明專利]顯示裝置及其陣列基板在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201810272206.8 | 申請日: | 2018-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN108511461A | 公開(公告)日: | 2018-09-07 |
| 發(fā)明(設計)人: | 韓約白 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/12 | 分類號: | H01L27/12;H01L27/02 |
| 代理公司: | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人: | 孫偉峰 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 陣列基板 接地線 第一金屬層 遮光部 半導體層 薄膜晶體管 顯示裝置 環(huán)繞 層間介質層 低溫多晶硅 第二金屬層 產品良率 電荷聚集 面板邊緣 依次設置 柵絕緣層 陣列設置 緩沖層 金屬層 襯底 源層 制程 電路 | ||
1.一種陣列基板,其特征在于,包括呈陣列設置的多個薄膜晶體管,所述陣列基板包括從下而上依次設置的襯底、第一金屬層、緩沖層、半導體層、柵絕緣層、第二金屬層、層間介質層及第三金屬層,所述第一金屬層用于形成遮光部和第一接地線,所述第一接地線環(huán)繞所述遮光部設置,所述半導體層用于形成所述薄膜晶體管的有源層,所述半導體層的材質為低溫多晶硅。
2.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述第三金屬層用于形成第二金屬線及所述薄膜晶體管的源極和漏極,所述第二金屬線環(huán)繞所述源極和所述漏極設置。
3.根據權利要求2所述的陣列基板,其特征在于,所述第一接地線與所述第二接地線通過第一過孔連接。
4.根據權利要求2所述的陣列基板,其特征在于,所述薄膜晶體管的源極通過第二過孔與所述有源層連接,所述薄膜晶體管的漏極通過第三過孔與所述有源層連接。
5.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述第一金屬層的材質為鉬。
6.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述柵絕緣層的材質為氧化硅或者氮化硅。
7.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,還包括設置于所述第三金屬層上的平坦層。
8.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,還包括透明電極層,所述透明電極層設置于所述平坦層上。
9.一種顯示裝置,其特征在于,包括如權利要求1-8任一所述的陣列基板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





