[發明專利]智能氮氧傳感器感應芯片

在審

• 申請號: 201810270584.2
• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN108333243A
• 公開（公告）日: 2018-07-27
• 發明（設計）人: 馮江濤
• 申請（專利權）人: 常州聯德電子有限公司
• 主分類號: G01N27/41
• 分類號: G01N27/41;G01N27/407;G01N27/409
• 代理公司: 常州市夏成專利事務所(普通合伙) 32233
• 代理人: 沈毅

1.一種智能氮氧傳感器感應芯片，其特征是，包括外電極（1）、電極觸點一（2）、上層氧化鋯基板（3）、副泵內電極（4）、主泵內電極（5）、中層氧化鋯基板（6）、參比空氣電極（7）、測量泵內電極（8）、電極觸點二（9）、底層氧化鋯基板（10）、絕緣包裹層（11）、電極觸點三（12）、參比空氣通道（13）、第一測量腔（15）、第二測量腔（17）和加熱線路（18），所述外電極（1）、引線、電極觸點一（2）印刷在上層氧化鋯基板（3）的上端面；所述副泵內電極（4）、主泵內電極（5）、引線印刷在上層氧化鋯基板（3）的下端面；所述副泵內電極（4）、主泵內電極（5）、引線通過過孔與電極觸點一（2）連接；所述測量泵內電極（8）和參比空氣電極（7）印刷在底層氧化鋯基板（10）的上端面；所述測量泵內電極（8）和參比空氣電極（7）通過引線延伸至端頭與兩側的電極觸點二（9）連接；所述底層氧化鋯基板（10）上印刷有加熱線路（18）、電極觸點三（12）、兩層絕緣包裹層（11）；所述加熱線路（18）包裹在兩層絕緣包裹層（11）之間；所述電極觸點三（12）裸露在外；所述中層氧化鋯基板（6）通過沖切加工成第一測量腔（15）、第二測量腔（17）和參比空氣通道（13）。

2.根據權利要求1所述的智能氮氧傳感器感應芯片，其特征是，所述電極觸點一（2）數量為三個。

3.根據權利要求1所述的智能氮氧傳感器感應芯片，其特征是，所述電極觸點二（9）數量為兩個。

4.根據權利要求1所述的智能氮氧傳感器感應芯片，其特征是，所述電極觸點三（12）數量為三個。

5.根據權利要求1所述的智能氮氧傳感器感應芯片，其特征是，所述上層氧化鋯基板（3）、中層氧化鋯基板（6）、底層氧化鋯基板（10）、絕緣包裹層（11）之間通過疊層和共燒工藝集成為一體。

6.根據權利要求1所述的智能氮氧傳感器感應芯片，其特征是，所述中層氧化鋯基板（6）上端面設有第一擴散障礙通道（14）和第二擴散障礙通道（16）。

7.根據權利要求1所述的智能氮氧傳感器感應芯片，其特征是，所述電極觸點一（2）水平均勻分布在上層氧化鋯基板（3）的端面上，電極觸點三（12）水平均勻分布在底層氧化鋯基板（10）的端面上，電極觸點二（9）位于該芯片的左右兩側。