[發明專利]一種陣列基板、顯示面板有效
| 申請號: | 201810269512.6 | 申請日: | 2018-03-28 |
| 公開(公告)號: | CN108493194B | 公開(公告)日: | 2020-07-24 |
| 發明(設計)人: | 張鵬曲;劉琨;董廷澤;李曉東 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/12 | 分類號: | H01L27/12;G02F1/1368 |
| 代理公司: | 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262 | 代理人: | 解婷婷;曲鵬 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 陣列 顯示 面板 | ||
1.一種陣列基板,包括依次設置在基底上的第一金屬層、第一絕緣層、第二金屬層和第二絕緣層,還包括暴露第一金屬層的第一過孔和暴露第二金屬層的第二過孔,其特征在于,所述陣列基板還包括與所述第二金屬層同層設置的輔助金屬塊和暴露所述輔助金屬塊的輔助過孔,所述第一過孔、第二過孔和輔助過孔采用一次刻蝕工藝形成;所述輔助金屬塊用于增大金屬刻蝕面積,以降低所述第二過孔處第二金屬層的刻蝕速率。
2.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述輔助金屬塊設置在陣列基板非顯示區的空白區內。
3.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述輔助金屬塊與所述第二金屬層通過一次構圖工藝形成。
4.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,采用干法刻蝕工藝形成所述第一過孔、第二過孔和輔助過孔。
5.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述輔助金屬塊的數量為多個,多個所述輔助金屬塊呈矩陣式排布。
6.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,每個輔助金屬塊上至少設置一個所述輔助過孔。
7.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述輔助金屬塊的形狀呈矩形、圓形、橢圓形或梯形。
8.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,所述輔助過孔的橫截面呈圓形、梯形、橢圓形或矩形。
9.根據權利要求1所述的陣列基板,其特征在于,第一金屬層包括位于集成電路綁定區的掃描線,第二金屬層包括位于集成電路綁定區的數據線,每條掃描線上設置有多個并列排布的第一過孔,每條數據線上設置有多個并列排布的第二過孔。
10.一種顯示面板,其特征在于,包括權利要求1-9中任意一項所述的陣列基板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





