[發明專利]一種柔性紫外光探測器及其制備方法

有效

• 申請號: 201810268718.7
• 申請日: 2018-03-29
• 公開（公告）號: CN108630766B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發明（設計）人: 楊伯儒;張偉;許鈺旺;翁明;李京周;柳成林
• 申請（專利權）人: 佛山市順德區中山大學研究院;廣東順德中山大學卡內基梅隆大學國際聯合研究院;中山大學
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/0264;H01L31/102;H01L31/18;B82Y30/00
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 左恒峰

1.一種柔性紫外光探測器的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

A、對襯底(1)進行預處理；

B、配制可圖案化導電油墨和可圖案化金屬氧化物納米線溶液，所述可圖案化導電油墨和可圖案化金屬氧化物納米線溶液中均包括光敏化合物；

C、吸取可圖案化導電油墨，滴在襯底(1)表面，采用旋涂方式在襯底(1)上沉積導電油墨，靜置風干，得到透明導電薄膜；

D、將金屬掩膜置于透明導電薄膜上方，進行紫外曝光，然后將曝光后的透明導電薄膜置于高溫下進行熱顯影，得到電極層圖案；

E、吸取可圖案化金屬氧化物納米線溶液，滴于電極層(3)上層，旋涂，靜置風干；

F、將金屬掩膜置于電極層上方，進行紫外曝光，然后將曝光后的電極層置于高溫下進行熱顯影，得到有源層圖案；

所述步驟A中對襯底(1)進行預處理的具體步驟為：將襯底(1)置于UV/O₃環境下6-10分鐘，所述襯底(1)為PET或PEN材料制成的柔性襯底(1)。

2.根據權利要求1所述的一種柔性紫外光探測器的制備方法，其特征在于：所述步驟B中的光敏化合物為易溶于極性溶劑的二苯基碘硝酸鹽。

3.根據權利要求1所述的一種柔性紫外光探測器的制備方法，其特征在于：所述步驟B中的可圖案化導電油墨還包括金屬納米線、膠黏劑以及分散劑，可圖案化金屬氧化物納米線溶液還包括金屬氧化物納米線、膠黏劑以及分散劑。

4.根據權利要求3所述的一種柔性紫外光探測器的制備方法，其特征在于：所述膠黏劑為羥丙基甲基纖維素、羥丙基纖維素、羧甲基乙基纖維素、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酸酯或聚丙烯酰胺其中一種。

5.根據權利要求3所述的一種柔性紫外光探測器的制備方法，其特征在于：所述分散劑為乙醇、丙醇或異丙醇其中一種。