[發(fā)明專利]清洗使用過的靶材的方法、靶材的制造方法、再循環(huán)鑄錠的制造方法及再循環(huán)鑄錠

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810266212.2
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN108690957A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 西岡宏司;塚田洋行
• 申請（專利權(quán)）人: 住友化學(xué)株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍;唐崢

本發(fā)明涉及清洗使用過的靶材的方法、靶材的制造方法、再循環(huán)鑄錠的制造方法及再循環(huán)鑄錠。本發(fā)明提供清洗濺射靶的靶材的方法，其是對在濺射中使用后的濺射靶的靶材進(jìn)行清洗的方法，所述濺射靶是用接合材料將主要由金屬構(gòu)成的靶材與支承構(gòu)件結(jié)合而形成的，所述方法包括下述工序：將上述靶材從上述濺射靶分離的工序；以及，將由上述工序得到的靶材的與上述支承構(gòu)件的結(jié)合面用酸處理后、進(jìn)一步用堿處理的工序。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及清洗使用過的靶材的方法、靶材的制造方法、以靶材為原料的鑄錠(以下，稱為“再循環(huán)鑄錠”)的制造方法以及再循環(huán)鑄錠。

背景技術(shù)

濺射靶(sputtering target)通常是用接合材料將由金屬、合金或陶瓷構(gòu)成的靶材與支承構(gòu)件結(jié)合(粘結(jié)(bonding))而形成的。對于靶材而言，可以在對其加以利用后進(jìn)行回收，將金屬再次熔化并進(jìn)行鑄造，由此以鑄錠(扁坯(slab)、鑄塊(ingot))的形式進(jìn)行再利用(再循環(huán)(recycle))。

關(guān)于靶材的再利用，例如，在日本特開2005-23350號公報、日本特開2005-23349號公報及國際公開第2015/151498號小冊子中，公開了利用酸來除去濺射靶的表面附著物。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的發(fā)明人進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過從用接合材料將靶材與支承構(gòu)件結(jié)合而形成的濺射靶中分離靶材，將靶材的與支承構(gòu)件的結(jié)合面用酸處理后、進(jìn)一步用堿處理，由此可將在靶材上附著的來自接合材料、支承構(gòu)件的雜質(zhì)除去，從而完成了本發(fā)明。

本申請涉及以下的發(fā)明。

[1]清洗濺射靶的靶材的方法，其是對在濺射中使用后的濺射靶的靶材進(jìn)行清洗的方法，所述濺射靶是用接合材料將主要由金屬構(gòu)成的靶材與支承構(gòu)件結(jié)合而形成的，所述方法包括：

將上述靶材從上述濺射靶分離的工序；以及

將由上述工序得到的靶材的與上述支承構(gòu)件的結(jié)合面用酸處理后、進(jìn)一步用堿處理的工序。

[2]如[1]所述的方法，其中，上述金屬為鋁。

[3]靶材的制造方法，所述方法包括利用上述[1]或[2]所述的方法清洗靶材的工序。

[4]再循環(huán)鑄錠的制造方法，所述方法包括對利用[1]或[2]所述的方法進(jìn)行了清洗的靶材進(jìn)行鑄造的工序。

[5]再循環(huán)鑄錠，所述再循環(huán)鑄錠來自用接合材料將主要由金屬構(gòu)成的靶材與支承構(gòu)件結(jié)合而形成的濺射靶的靶材，

所述再循環(huán)鑄錠包含鋁作為主成分，來自上述接合材料和上述支承構(gòu)件的元素的總量以重量基準(zhǔn)計低于10ppm。

附圖說明

[圖1]為示意性地表示根據(jù)本發(fā)明的靶材的處理及利用根據(jù)本發(fā)明的靶材的處理而進(jìn)行的靶材的再生的一例的概略圖。

[圖2]為表示濺射靶的靶材與支承構(gòu)件的結(jié)合的概略圖。

[圖3]為表示另一方式的濺射靶的靶材與支承構(gòu)件的結(jié)合的概略圖。

[圖4]為表示又一方式的濺射靶的靶材與支承構(gòu)件的結(jié)合的概略圖。

附圖標(biāo)記說明

1 靶材

2 支承構(gòu)件

3 接合材料(或接合層)

4 焊料層

5、5’ 金屬化層

10、20、30 濺射靶

具體實施方式