[發(fā)明專利]清洗使用過(guò)的靶材的方法、靶材的制造方法、再循環(huán)鑄錠的制造方法及再循環(huán)鑄錠

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810266212.2
• 申請(qǐng)日: 2018-03-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108690957A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西岡宏司;塚田洋行
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友化學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍;唐崢

1.清洗濺射靶的靶材的方法，其是對(duì)在濺射中使用后的濺射靶的靶材進(jìn)行清洗的方法，所述濺射靶是用接合材料將主要由金屬構(gòu)成的靶材與支承構(gòu)件結(jié)合而形成的，所述方法包括：

將所述靶材從所述濺射靶分離的工序；以及

將由所述工序得到的靶材的與所述支承構(gòu)件的結(jié)合面用酸處理后、進(jìn)一步用堿處理的工序。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述金屬為鋁。

3.靶材的制造方法，所述方法包括利用權(quán)利要求1或2所述的方法清洗靶材的工序。

4.再循環(huán)鑄錠的制造方法，所述方法包括對(duì)利用權(quán)利要求1或2所述的方法進(jìn)行了清洗的靶材進(jìn)行鑄造的工序。

5.再循環(huán)鑄錠，所述再循環(huán)鑄錠來(lái)自用接合材料將主要由金屬構(gòu)成的靶材與支承構(gòu)件結(jié)合而形成的濺射靶的靶材，

所述再循環(huán)鑄錠包含鋁作為主成分，來(lái)自所述接合材料和所述支承構(gòu)件的元素的總量以重量基準(zhǔn)計(jì)低于10ppm。