[發(fā)明專利]板狀被加工物的加工方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810263609.6
• 申請日: 2018-03-28
• 公開（公告）號: CN108695146A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 竹之內(nèi)研二
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

1.一種板狀被加工物的加工方法，該加工方法對在分割預(yù)定線上或與分割預(yù)定線對應(yīng)的區(qū)域?qū)盈B有金屬的板狀被加工物進(jìn)行加工，其特征在于，

該加工方法具備下述步驟：

保持步驟，在使該金屬露出的狀態(tài)下利用卡盤工作臺對板狀被加工物進(jìn)行保持；

第一切削步驟，在實(shí)施該保持步驟后，利用第一切削刀具沿著該分割預(yù)定線對板狀被加工物進(jìn)行切削，形成分割所述金屬的切削槽；和

第二切削步驟，在實(shí)施該第一切削步驟后，利用第二切削刀具對該切削槽進(jìn)行切削，將板狀被加工物完全切斷，

在該第一切削步驟中，一邊對板狀被加工物供給包含有機(jī)酸和氧化劑的切削液，一邊執(zhí)行切削。

2.如權(quán)利要求1所述的板狀被加工物的加工方法，其中，該第一切削刀具兼用作該第二切削刀具。

3.如權(quán)利要求1所述的板狀被加工物的加工方法，其中，該第二切削刀具比該第一切削刀具薄。