[發明專利]一種氣浮精密運動平臺

有效

• 申請號: 201810258380.7
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN108466173B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 尹自強;羅思鑫;王素娟;張霞峰;林劍;魏棵榕;郭亞文;姚建華;孔德坤
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B23Q3/06
• 分類號: B23Q3/06;B24B41/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;唐京橋

1.一種氣浮精密運動平臺，其特征在于，包括：底座、直線電機、第一過渡板、真空吸附平臺、內置真空發生器、氣浮軸承和外接真空發生器；

所述真空吸附平臺安裝在所述底座的運動軌道上；

所述真空吸附平臺通過所述第一過渡板與所述直線電機固定連接；

所述直線電機安裝在所述底座上；

所述內置真空發生器設置在所述真空吸附平臺內部；

所述氣浮軸承鑲嵌在所述真空吸附平臺的底部與兩側；

所述外接真空發生器與所述真空吸附平臺可拆卸連接；

所述真空吸附平臺內部設置有第一氣路和第二氣路，所述第一氣路與所述內置真空發生器連通，用于吸附工件；

所述第二氣路分別與所述外接真空發生器和所述氣浮軸承連通，用于在所述真空吸附平臺與所述底座之間產生氣膜，在所述真空吸附平臺底部形成真空負壓。

2.根據權利要求1所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，所述真空吸附平臺包括：所述內置真空發生器、開關閥門和壓力表；

所述開關閥門設置在所述真空吸附平臺內部，通過所述第一氣路與所述真空吸附平臺的第二側面的第一進氣口連接，所述開關閥門的控制撥桿設置在所述真空吸附平臺的第一側面上，用于控制氣體從所述第一進氣口進入所述真空吸附平臺內部；

所述壓力表安裝在所述真空吸附平臺的第一側面上并與所述第一氣路連通，用于檢測所述第一氣路的壓力大小值。

3.根據權利要求2所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，所述鑲嵌有氣浮軸承的所述真空吸附平臺的兩側面均設置有第二進氣口，所述第二進氣口與所述第二氣路連通。

4.根據權利要求3所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，所述真空吸附平臺的第四側面設置有第三進氣口，所述真空吸附平臺第二側面設置有與所述第三進氣口相對應的第一出氣口，所述第三進氣口、所述第二進氣口與所述第一出氣口之間形成所述第二氣路。

5.根據權利要求4所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，所述真空吸附平臺上表面設置有與所述第一氣路相連通的第一氣孔，用于吸附加工工件。

6.根據權利要求4所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，所述真空吸附平臺下表面設置有與所述第二氣路相連通的第二氣孔，用于在所述外接真空發生器對所述第二氣路進行抽真空時產生真空負壓。

7.根據權利要求1所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，還包括：光柵尺、讀數頭、光柵尺固定板和第二過渡板；

所述光柵尺安裝在所述光柵尺固定板上；

所述光柵尺固定板固定在所述底座上；

所述讀數頭與所述第二過渡板固定連接；

所述讀數頭的移動方向與所述光柵尺平行；

所述第二過渡板與所述第一過渡板固定連接。

8.根據權利要求1所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，所述底座為大理石底座。

9.根據權利要求1所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，所述氣浮軸承為石墨氣浮軸承。

10.根據權利要求2所述的氣浮精密運動平臺，其特征在于，還包括：消聲器；所述消聲器設置在所述真空吸附平臺內部并與所述內置真空發生器連接。