[發(fā)明專利]一種氣浮精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810258380.7
• 申請(qǐng)日: 2018-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108466173B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹自強(qiáng);羅思鑫;王素娟;張霞峰;林劍;魏棵榕;郭亞文;姚建華;孔德坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B23Q3/06
• 分類號(hào): B23Q3/06;B24B41/06
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 張春水;唐京橋

本發(fā)明公開(kāi)了一種氣浮精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，真空吸附平臺(tái)安裝在底座的運(yùn)動(dòng)軌道上；真空吸附平臺(tái)通過(guò)第一過(guò)渡板與直線電機(jī)固定連接；直線電機(jī)安裝在底座上；內(nèi)置真空發(fā)生器設(shè)置在真空吸附平臺(tái)內(nèi)部；氣浮軸承鑲嵌在真空吸附平臺(tái)的底部與兩側(cè)；外接真空發(fā)生器與真空吸附平臺(tái)可拆卸連接；真空吸附平臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有第一氣路和第二氣路，第一氣路與內(nèi)置真空發(fā)生器連通，用于吸附工件；第二氣路分別與外接真空發(fā)生器和氣浮軸承連通，用于在真空吸附平臺(tái)與底座之間產(chǎn)生氣膜。解決了現(xiàn)有的超精密磨削機(jī)床容易因機(jī)械導(dǎo)軌與平臺(tái)之間存在摩擦和熱變形而導(dǎo)致定位和運(yùn)動(dòng)精度降低，從而影響工件加工精度的技術(shù)問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及工件加工機(jī)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣浮精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。

背景技術(shù)

隨著我國(guó)精密和超精密加工發(fā)展策略的實(shí)施和經(jīng)過(guò)多年的努力，不論是精密機(jī)床、金剛石工具，還是精密加工工藝，都已經(jīng)形成了一整套完整的精密制造技術(shù)系統(tǒng)，為推動(dòng)機(jī)械制造向更高層次發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)日益激烈，越來(lái)越多的制造業(yè)開(kāi)始將大量的人力、財(cái)力和物力投入先進(jìn)的制造技術(shù)和先進(jìn)的制造模式的研究和實(shí)施策略之中。

磨床是一種利用磨具對(duì)工件表面進(jìn)行磨削加工的機(jī)床。磨床能加工硬度較高的材料，如淬硬鋼、硬質(zhì)合金等；也能加工脆性材料，如玻璃、花崗石。磨床能作高精度和表面粗糙度很小的磨削，也能進(jìn)行高效率的磨削。

近年來(lái)，光纖通訊行業(yè)發(fā)展一場(chǎng)迅速，用于光纖之間對(duì)接的光纖連接器，其主要組成部分是V型槽結(jié)構(gòu)，V型槽的加工精度直接影響到光纖連接器的性能。目前，對(duì)光纖連接器的專用超精密磨削機(jī)床的研究尚處于起步階段，現(xiàn)超精密磨削機(jī)床的X軸為機(jī)械導(dǎo)軌和直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，且導(dǎo)軌和真空吸附平臺(tái)分開(kāi)，這種方式容易因機(jī)械導(dǎo)軌與平臺(tái)之間存在摩擦和熱變形等原因而導(dǎo)致定位和運(yùn)動(dòng)精度降低，從而影響到加工件的加工精度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種氣浮精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，用于解決現(xiàn)有的超精密磨削機(jī)床容易因機(jī)械導(dǎo)軌與平臺(tái)之間存在摩擦和熱變形而導(dǎo)致定位和運(yùn)動(dòng)精度降低，從而影響工件加工精度的技術(shù)問(wèn)題。

本發(fā)明提供的一種氣浮精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，包括：底座、直線電機(jī)、第一過(guò)渡板、真空吸附平臺(tái)、內(nèi)置真空發(fā)生器、氣浮軸承和外接真空發(fā)生器；

所述真空吸附平臺(tái)安裝在所述底座的運(yùn)動(dòng)軌道上；

所述真空吸附平臺(tái)通過(guò)所述第一過(guò)渡板與所述直線電機(jī)固定連接；

所述直線電機(jī)安裝在所述底座上；

所述內(nèi)置真空發(fā)生器設(shè)置在所述真空吸附平臺(tái)內(nèi)部；

所述氣浮軸承鑲嵌在所述真空吸附平臺(tái)的底部與兩側(cè)；

所述外接真空發(fā)生器與所述真空吸附平臺(tái)可拆卸連接；

所述真空吸附平臺(tái)內(nèi)部設(shè)置有第一氣路和第二氣路，所述第一氣路與所述內(nèi)置真空發(fā)生器連通，用于吸附工件；

所述第二氣路分別與所述外接真空發(fā)生器和所述氣浮軸承連通，用于在所述真空吸附平臺(tái)與所述底座之間產(chǎn)生氣膜，在所述真空吸附平臺(tái)底部形成真空負(fù)壓。

優(yōu)選地，所述真空吸附平臺(tái)包括：所述內(nèi)置真空發(fā)生器、開(kāi)關(guān)閥門和壓力表；

所述開(kāi)關(guān)閥門設(shè)置在所述真空吸附平臺(tái)內(nèi)部，通過(guò)所述第一氣路與所述真空吸附平臺(tái)的第二側(cè)面的第一進(jìn)氣口連接，所述開(kāi)關(guān)閥門的控制撥桿設(shè)置在所述真空吸附平臺(tái)的第一側(cè)面上，用于控制氣體從所述第一進(jìn)氣口進(jìn)入所述真空吸附平臺(tái)內(nèi)部；

所述壓力表安裝在所述真空吸附平臺(tái)的第一側(cè)面上并與所述第一氣路連通，用于檢測(cè)所述第一氣路的壓力大小值。

優(yōu)選地，所述鑲嵌有氣浮軸承的所述真空吸附平臺(tái)的兩側(cè)面均設(shè)置有第二進(jìn)氣口，所述第二進(jìn)氣口與所述第二氣路連通。