[發明專利]研磨裝置及研磨方法

在審

• 申請號: 201810257492.0
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN108340237A
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 王子安;宋偉;李增紅;黃漢卿;王河;包珊珊;孟勃;朱明遠;苗冬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: B24B9/10
• 分類號: B24B9/10;B24B49/00;B24B51/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

1.一種研磨裝置，其特征在于，包括：

研磨輪，用于對待研磨基板的相對兩個邊緣進行研磨；

驅動結構，與所述研磨輪連接，用于驅動所述研磨輪移動；

邊緣檢測結構，與所述驅動結構連接，用于檢測待研磨基板的相對兩個邊緣之間中心線的位置，根據所檢測的位置，向所述驅動結構輸出控制信號，使所述驅動結構驅動所述研磨輪移動，所述研磨輪的研磨中心面與所述中心線位于同一平面。

2.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述驅動結構還用于驅動所述研磨輪沿相對兩個邊緣中其中一邊緣的長度方向移動，在移動過程中所述研磨輪對相對兩個邊緣進行研磨。

3.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨輪包括關于預設平面對稱設置的兩個研磨刀口，其中所述預設平面形成為所述研磨中心面，且所述研磨輪對待研磨基板的相對兩個邊緣進行研磨時，每一所述研磨刀口分別與一個邊緣貼合連接。

4.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述邊緣檢測結構包括：

圖像傳感器，用于獲取待研磨基板的相對兩個邊緣的圖像；

第一控制器，用于根據所述圖像傳感器所獲得的圖像，確定待研磨基板的相對兩個邊緣之間中心線的位置；

第二控制器，用于根據所述第一控制器所檢測的中心線的位置、所述圖像傳感器相對于待研磨基板的位置和所述研磨輪相對于所述圖像傳感器的位置，確定所述研磨輪的移動距離，根據所述移動距離向所述驅動結構輸出控制信號。

5.根據權利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，所述邊緣檢測結構還包括：

光源，用于為所述圖像傳感器獲取所述圖像時提供照明。

6.根據權利要求5所述的研磨裝置，其特征在于，所述光源的數量為至少兩個，且分別與所述圖像傳感器集成于一體，均勻分布在所述圖像傳感器的外圍。

7.根據權利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，所述邊緣檢測結構還包括：

氣體輸出構件，用于在所述圖像傳感器獲取所述圖像時，朝所述待研磨基板的方向吹出干燥氣體。

8.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包括：

報警結構，用于接收報警信號，根據所述報警信號發出報警消息；

其中，所述邊緣檢測結構還用于檢測所述待研磨基板的相對兩個邊緣之間的厚度，當判斷所述厚度與預設厚度之間差值的絕對值大于預設數值時，向所述報警結構輸出所述報警信號。

9.根據權利要求8所述的研磨裝置，其特征在于，所述邊緣檢測結構還用于在檢測所述待研磨基板的相對兩個邊緣之間的厚度之后，判斷所述厚度與所述研磨輪的研磨尺寸是否匹配；當判斷不匹配時，向所述報警結構輸出所述報警信號。

10.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包括：

研磨臺，用于放置所述待研磨基板；

對位攝像頭，用于對所述待研磨基板在所述研磨臺上的位置進行對位，使所述待研磨基板位于所述研磨臺的第一預定位置處；

其中，當所述待研磨基板位于所述研磨臺的第一預定位置處時，所述邊緣檢測結構檢測待研磨基板的相對兩個邊緣之間中心線的位置。

11.一種采用權利要求1至10任一項所述的研磨裝置的研磨方法，其特征在于，所述研磨方法包括：

控制待研磨基板移動至研磨臺上的第一預定位置處以及控制所述研磨輪相對于所述研磨臺位于第二預定位置；

啟動所述邊緣檢測結構，使所述研磨輪從所述第二預定位置處移動至研磨位置，其中在所述研磨位置，所述研磨輪的研磨中心面與待研磨基板的相對兩個邊緣之間的中心線位于同一平面；

啟動所述研磨輪，對待研磨基板的相對兩個邊緣進行研磨。