[發(fā)明專利]一種顯影裝置和顯影方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810251770.1
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN108445720B
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王曼;張曉妹;翟玉漫;邢淑影
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 汪源;陳源

本發(fā)明公開了一種顯影裝置和顯影方法，該顯影裝置包括至少一個移載機，所述移載機用于在承載基板時形成顯影池結(jié)構(gòu)，所述顯影池結(jié)構(gòu)用于承接顯影液以對浸泡于所述顯影液中的所述基板進行顯影。本發(fā)明能夠有效提升顯影液的利用率和基板的顯影均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種顯影裝置和顯影方法。

背景技術(shù)

液晶面板是通過在陣列基板和彩膜基板中間填充液晶，然后將陣列基板和彩膜基板對盒后再切割而制作形成的。其中彩膜基板包括各種不同的膜層，大部分膜層的制作都需要經(jīng)過光刻膠的涂布、前烘、曝光、顯影、后烘來完成。顯影工藝是指通過基板和顯影液的接觸以使得涂覆在基板表面的光刻膠和顯影液之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而在基板上形成圖案。目前的顯影設(shè)備中，基板由前傳送段進入顯影段，在基板于顯影段內(nèi)部繼續(xù)向前傳送的同時，噴淋裝置將顯影液不斷噴灑在基板上，顯影液同時不斷地從基板上流下并回收循環(huán)利用，顯影液經(jīng)過一定的循環(huán)顯影數(shù)量后作為廢液排掉。

現(xiàn)有技術(shù)中，隨著顯影液循環(huán)次數(shù)的增加，顯影液的濃度會不斷下降，進而導(dǎo)致基板的顯影效果越來越差。同時，廢液中顯影液的顯影關(guān)鍵成分濃度還遠(yuǎn)大于零，顯影液尚未被充分利用即作為廢液被排掉。除此之外，由于噴淋裝置的流量存在差異，會導(dǎo)致基板不同位置接觸到的顯影液的量或流速不同，繼而導(dǎo)致基板的顯影均勻性差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種顯影裝置和顯影方法，能夠有效提升顯影液的利用率和基板的顯影均勻性。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種顯影裝置，包括：至少一個移載機；

所述移載機，用于在承載基板時形成顯影池結(jié)構(gòu)，所述顯影池結(jié)構(gòu)用于承接顯影液以對浸泡于所述顯影液中的所述基板進行顯影。

可選地，所述移載機包括多個升降單元和對應(yīng)設(shè)置于每個升降單元之上的伸縮桿，每個所述伸縮桿的一端設(shè)置于所述升降單元上，每個所述伸縮桿的遠(yuǎn)離所述升降單元的另一端設(shè)置有擋板；

所述升降單元，用于使所述伸縮桿上升或者下降；

所述伸縮桿，用于伸長或收縮；

多個所述擋板用于在所述伸縮桿位于設(shè)定高度并處于設(shè)定長度時與所述基板組成所述顯影池結(jié)構(gòu)。

可選地，所述移載機還包括轉(zhuǎn)動單元和基板傳送裝置；

所述升降單元設(shè)于所述轉(zhuǎn)動單元上并沿所述轉(zhuǎn)動單元上升或者下降；

所述基板傳送裝置設(shè)于所述轉(zhuǎn)動單元的頂端，用于承載基板并將所述基板傳送至所述轉(zhuǎn)動單元的正上方，所述基板的邊緣區(qū)域超出所述基板傳送裝置。

可選地，所述伸縮桿的數(shù)量為四個，每個所述伸縮桿的另一端設(shè)置有一個擋板；

相對設(shè)置的兩個伸縮桿位于第一方向上，相對設(shè)置的另兩個伸縮桿位于第二方向上，所述第一方向與所述第二方向垂直。

可選地，

每個所述擋板包括側(cè)壁和沿所述側(cè)壁的靠近伸縮桿的一端凸出的底面；

在所述伸縮桿位于設(shè)定高度并處于設(shè)定長度時，所述側(cè)壁貼合所述基板的對應(yīng)的邊緣區(qū)域的側(cè)邊，所述底面貼合所述基板的對應(yīng)的邊緣區(qū)域的下方，以使全部所述擋板以及所述基板形成所述顯影池結(jié)構(gòu)。

可選地，所述第一方向上的伸縮桿上的擋板的側(cè)壁的長度與底面的長度相同；

所述第二方向上的伸縮桿上的擋板的側(cè)壁的長度與底面的長度的差值等于所述第一方向上的伸縮桿上的擋板的底面的寬度。

可選地，所述顯影裝置還包括廢液槽，所述移載機還包括轉(zhuǎn)動單元，所述升降單元設(shè)于所述轉(zhuǎn)動單元上并沿所述轉(zhuǎn)動單元上升或者下降；