[發明專利]一種顯影裝置和顯影方法

有效

• 申請號: 201810251770.1
• 申請日: 2018-03-26
• 公開（公告）號: CN108445720B
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 王曼;張曉妹;翟玉漫;邢淑影
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 汪源;陳源

1.一種顯影裝置，其特征在于，包括：至少一個移載機；

所述移載機，用于在承載基板時形成顯影池結構，所述顯影池結構用于承接顯影液以對浸泡于所述顯影液中的所述基板進行顯影；所述移載機包括多個升降單元和對應設置于每個升降單元之上的伸縮桿，每個所述伸縮桿的一端設置于所述升降單元上，每個所述伸縮桿的遠離所述升降單元的另一端設置有擋板；

所述升降單元，用于使所述伸縮桿上升或者下降；

所述伸縮桿，用于伸長或收縮；

多個所述擋板用于在所述伸縮桿位于設定高度并處于設定長度時與所述基板組成所述顯影池結構。

2.根據權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述移載機還包括轉動單元和基板傳送裝置；

所述升降單元設于所述轉動單元上并沿所述轉動單元上升或者下降；

所述基板傳送裝置設于所述轉動單元的頂端，用于承載基板并將所述基板傳送至所述轉動單元的正上方，所述基板的邊緣區域超出所述基板傳送裝置。

3.根據權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述伸縮桿的數量為四個，每個所述伸縮桿的另一端設置有一個擋板；

相對設置的兩個伸縮桿位于第一方向上，相對設置的另兩個伸縮桿位于第二方向上，所述第一方向與所述第二方向垂直。

4.根據權利要求3所述的顯影裝置，其特征在于，

每個所述擋板包括側壁和沿所述側壁的靠近伸縮桿的一端凸出的底面；

在所述伸縮桿位于設定高度并處于設定長度時，所述側壁貼合所述基板的對應的邊緣區域的側邊，所述底面貼合所述基板的對應的邊緣區域的下方，以使全部所述擋板以及所述基板形成所述顯影池結構。

5.根據權利要求4所述的顯影裝置，其特征在于，所述第一方向上的伸縮桿上的擋板的側壁的長度與底面的長度相同；

所述第二方向上的伸縮桿上的擋板的側壁的長度與底面的長度的差值等于所述第一方向上的伸縮桿上的擋板的底面的寬度。

6.根據權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，所述顯影裝置還包括廢液槽，所述移載機還包括轉動單元，所述升降單元設于所述轉動單元上并沿所述轉動單元上升或者下降；

所述轉動單元，用于轉動以帶動所述顯影池結構向所述廢液槽所在方向傾斜設定角度或者控制所述顯影池結構恢復至原始狀態；

靠近所述廢液槽的一個擋板用于在對應的伸縮桿下降并收縮時位于所述基板邊緣的下方，以使所述顯影池結構中的顯影液流入所述廢液槽中。

7.根據權利要求5所述的顯影裝置，其特征在于，所述顯影裝置還包括傳送導軌，所述移載機還包括基座和轉動單元，所述轉動單元的底端設置于所述基座上，所述基座設置于所述傳送導軌上；

所述基座，用于在所述傳送導軌上滑動以帶動所述移載機移動。

8.根據權利要求1所述的顯影裝置，其特征在于，還包括顯影液輸出組件，所述顯影液輸出組件包括顯影液輸出口；

所述顯影液輸出口用于向所述顯影池結構噴灑顯影液。

9.根據權利要求8所述的顯影裝置，其特征在于，所述顯影裝置還包括廢液槽；還包括：腔體，所述腔體的一側設置有基板輸入口，所述腔體的相對的另一側設置有基板輸出口，所述腔體的底面設置有多個開口，每個所述開口連接有與所述廢液槽連接的管道；所述管道，用于將滴落至所述腔體的底面上的顯影液導出至所述廢液槽中。

10.一種顯影方法，其特征在于，所述顯影方法采用權利要求1-9任一所述顯影裝置，所述顯影裝置包括至少一個移載機；

所述顯影方法包括：

所述移載機在承載基板時形成顯影池結構；

所述顯影池結構承接顯影液以對浸泡于所述顯影液中的所述基板進行顯影。