[發(fā)明專利]具有限定有源區(qū)的線型溝道的半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810251036.5
• 申請日: 2013-05-21
• 公開（公告）號: CN108538804B
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔宰福;李圭現(xiàn);張美貞;崔榮振;許宙永
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: H01L23/498
• 分類號: H01L23/498;H01L27/02;H01L27/108
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 張波

本發(fā)明公開了具有限定有源區(qū)的線型溝道的半導(dǎo)體裝置及其形成方法，其中該半導(dǎo)體裝置包括：彼此平行的多個平行溝槽；彼此平行的多個交叉溝槽；由平行溝槽和交叉溝槽限定的多個有源區(qū)；跨過有源區(qū)的多條下導(dǎo)線；彼此平行的多條上導(dǎo)線，交叉下導(dǎo)線且跨越有源區(qū)；以及連接到有源區(qū)的數(shù)據(jù)存儲元件。平行溝槽和交叉溝槽的每個是直線形。平行溝槽交叉上導(dǎo)線并與上導(dǎo)線形成第一銳角。交叉溝槽交叉平行溝槽并與平行溝槽形成第二銳角。

本申請是三星電子株式會社于2013年5月21日申請的名稱為“具有限定有源區(qū)的線型溝道的半導(dǎo)體裝置及其形成方法”、申請?zhí)枮?201310188874.X的發(fā)明專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及具有限定有源區(qū)的線型溝道的半導(dǎo)體裝置及其形成方法。

背景技術(shù)

已經(jīng)研究了形成有源區(qū)的各種方法以實現(xiàn)高集成度和與接觸插塞的足夠的接觸區(qū)域。

發(fā)明內(nèi)容

實施方式可以通過提供一種半導(dǎo)體裝置而實現(xiàn)，該半導(dǎo)體裝置包括：在半導(dǎo)體基板上彼此平行的多個平行溝槽；在半導(dǎo)體基板上彼此平行的多個交叉溝槽；在半導(dǎo)體基板上由平行溝槽和交叉溝槽限定的多個有源區(qū)；跨過有源區(qū)的多條下導(dǎo)線；彼此平行的多條上導(dǎo)線，交叉下導(dǎo)線且跨越有源區(qū)；以及連接到有源區(qū)的數(shù)據(jù)存儲元件。平行溝槽和交叉溝槽的每個是直線形。平行溝槽交叉上導(dǎo)線并與上導(dǎo)線形成第一銳角。交叉溝槽交叉平行溝槽并與平行溝槽形成第二銳角。

交叉溝槽可以交叉上導(dǎo)線，以及第二銳角可以大于第一銳角。交叉溝槽可以與上導(dǎo)線形成大于第二銳角的第三銳角。交叉溝槽可以平行于上導(dǎo)線，以及第二銳角可以基本上與第一銳角相同。下導(dǎo)線和上導(dǎo)線的每個可以是直線形，上導(dǎo)線可以與下導(dǎo)線基本上形成直角。交叉溝槽之間的間隔可以大于平行溝槽之間的間隔。

實施方式也可以通過一種半導(dǎo)體裝置而實現(xiàn)，該半導(dǎo)體裝置包括：在半導(dǎo)體基板上彼此平行的第一平行溝槽和第二平行溝槽；在半導(dǎo)體基板上彼此平行的第一交叉溝槽和第二交叉溝槽；在半導(dǎo)體基板上的由第一平行溝槽和第二平行溝槽以及第一交叉溝槽和第二交叉溝槽限定的有源區(qū)；一對字線，跨過有源區(qū)并彼此平行；位線，跨越有源區(qū)并與該對字線基本上形成直角；掩埋接觸插塞，與位線間隔開并連接到有源區(qū)；以及在掩埋接觸插塞上的存儲節(jié)點(diǎn)。第一平行溝槽和第二平行溝槽以及第一交叉溝槽和第二交叉溝槽的每個是直線形，第一平行溝槽和第二平行溝槽交叉位線并與位線形成第一銳角，第一交叉溝槽和第二交叉溝槽交叉第一平行溝槽和第二平行溝槽，并與第一平行溝槽和第二平行溝槽形成第二銳角。

有源區(qū)可以包括第一側(cè)表面、第二側(cè)表面、第三側(cè)表面和第四側(cè)表面。第一側(cè)表面可以由第一平行溝槽限定，第二側(cè)表面可以由第二平行溝槽限定，第三側(cè)表面可以由第一交叉溝槽限定，第四側(cè)表面可以由第二交叉溝槽限定。第二側(cè)表面可以平行于第一側(cè)表面，第四側(cè)表面可以平行于第三側(cè)表面。第一側(cè)表面可以長于第三側(cè)表面。第一側(cè)表面可以為第三側(cè)表面的至少兩倍長。

有源區(qū)可以包括遠(yuǎn)離位線突出的第一端和第二端，第二側(cè)表面和第三側(cè)表面可以在第一端相接，第一側(cè)表面和第四側(cè)表面可以在第二端相接。第二端可以與第一端是點(diǎn)對稱關(guān)系。掩埋接觸插塞可以連接到第一端或第二端。第一交叉溝槽和第二交叉溝槽交叉位線，第二銳角可以大于第一銳角。第二銳角可以為大約28度。

第一交叉溝槽和第二交叉溝槽可以與位線形成大于第二銳角的第三銳角。有源區(qū)可以包括遠(yuǎn)離位線突出的第一端和第二端，第一側(cè)表面和第四側(cè)表面可以在第一端相接，第二側(cè)表面和第三側(cè)表面可以在第二端相接。第一交叉溝槽和第二交叉溝槽可以平行于位線，第二銳角可以基本上與第一銳角相同。第二銳角可以為大約21度。