[發(fā)明專(zhuān)利]掩膜裝置及其制作方法、蒸鍍系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810240561.7
• 申請(qǐng)日: 2018-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108441814B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂守華;黃俊杰;張德;趙蓉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/04
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本發(fā)明提供一種掩膜裝置及其制作方法、蒸鍍系統(tǒng)，該掩膜裝置包括框架、條狀對(duì)位板和條狀支撐板，在條狀對(duì)位板中設(shè)置有鏤空部，且條狀對(duì)位板固定在框架上；條狀支撐板與條狀對(duì)位板相互交叉，并且在條狀支撐板的與框架相對(duì)的表面上設(shè)置有多個(gè)焊點(diǎn)。本發(fā)明提供的掩膜裝置及其制作方法、蒸鍍系統(tǒng)的技術(shù)方案，可以避免條狀對(duì)位板材料的浪費(fèi)及給后續(xù)的對(duì)位工作帶來(lái)困難。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及掩膜板制造領(lǐng)域，具體地，涉及一種掩膜裝置及其制作方法、蒸鍍系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，制備高質(zhì)量OLED屏的一種核心技術(shù)是采用高精密OLED掩膜板在玻璃基板上蒸鍍R、G、B三原色的有機(jī)材料。蒸鍍工藝使用的掩膜板的質(zhì)量直接影響到OLED屏的質(zhì)量，因此，掩膜板的結(jié)構(gòu)和制作方法都很重要。

現(xiàn)有的掩膜板包括框架、條狀對(duì)位板和條狀支撐板，其中，條狀支撐板焊接在框架上，用于支撐條狀掩膜板；條狀對(duì)位板焊接在框架上，且與條狀支撐板相互交叉，用于與玻璃基板進(jìn)行對(duì)位。現(xiàn)有的掩膜板在實(shí)際應(yīng)用中不可避免地存在以下問(wèn)題，即：

在條狀對(duì)位板與條狀支撐板的交叉處，條狀對(duì)位板會(huì)遮擋條狀支撐板的部分焊點(diǎn)，當(dāng)需要對(duì)焊點(diǎn)進(jìn)行修復(fù)時(shí)，需要先撕除條狀對(duì)位板，導(dǎo)致條狀對(duì)位板材料的浪費(fèi)。另外，重新焊接條狀對(duì)位板會(huì)導(dǎo)致條狀對(duì)位板的對(duì)位基準(zhǔn)改變，從而給后續(xù)的對(duì)位工作帶來(lái)困難。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一，提出了一種掩膜裝置及其制作方法、蒸鍍系統(tǒng)，其可以避免條狀對(duì)位板材料的浪費(fèi)及給后續(xù)的對(duì)位工作帶來(lái)困難。

為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的而提供一種掩膜裝置，包括框架、條狀對(duì)位板和條狀支撐板，在所述條狀對(duì)位板中設(shè)置有鏤空部，且所述條狀對(duì)位板固定在所述框架上；

所述條狀支撐板與所述條狀對(duì)位板相互交叉，并且在所述條狀支撐板的與所述框架相對(duì)的表面上設(shè)置有多個(gè)焊點(diǎn)，所述條狀支撐板對(duì)應(yīng)所述鏤空部的區(qū)域內(nèi)設(shè)置有多個(gè)所述焊點(diǎn)。

可選的，多個(gè)所述焊點(diǎn)通過(guò)所述鏤空部與所述框架焊接固定。

可選的，所述條狀支撐板的端部自所述條狀對(duì)位板背離所述框架的一側(cè)經(jīng)由所述鏤空部延伸至所述條狀對(duì)位板的所述框架所在一側(cè)；所述焊點(diǎn)均設(shè)置在所述端部。

可選的，所述條狀支撐板的端部自所述條狀對(duì)位板的所述框架所在一側(cè)經(jīng)由所述鏤空部延伸至所述條狀對(duì)位板的背離所述框架的一側(cè)；所述焊點(diǎn)均設(shè)置在所述端部。

可選的，所述條狀支撐板疊置在所述條狀對(duì)位板背離所述框架的一側(cè)。

可選的，所述條狀支撐板疊置在所述條狀對(duì)位板朝向所述框架的一側(cè)。

可選的，所述鏤空部包括沿所述條狀對(duì)位板的厚度方向設(shè)置的通孔。

可選的，所述鏤空部包括設(shè)置于所述條狀對(duì)位板上的凹槽，所述凹槽的開(kāi)口朝向垂直于所述條狀對(duì)位板的延伸方向，且朝向所述條狀支撐板的所述端部。

可選的，所述條狀支撐板為一個(gè)或者多個(gè)，且多個(gè)所述條狀支撐板相互平行，并間隔排布。

可選的，多個(gè)所述焊點(diǎn)在垂直于所述條狀支撐板的長(zhǎng)度方向上排成至少一排，同一排中的多個(gè)所述焊點(diǎn)沿平行于所述條狀支撐板的長(zhǎng)度方向間隔排布。

可選的，在所述條狀對(duì)位板中設(shè)置有定位孔。

可選的，所述條狀對(duì)位板的數(shù)量為兩個(gè)，且相互平行；所述掩膜裝置還包括多個(gè)條狀遮擋板，多個(gè)所述條狀遮擋板均位于兩個(gè)所述條狀對(duì)位板之間，且與所述條狀對(duì)位板相互平行，并且多個(gè)所述條狀遮擋板間隔排布。

可選的，所述掩膜裝置還包括多個(gè)條狀掩膜板，且在每相鄰的兩個(gè)條狀遮擋板之間設(shè)置一個(gè)所述條狀掩膜板；并且，在每個(gè)所述條狀掩膜板上設(shè)置有開(kāi)口。