[發明專利]掩膜裝置及其制作方法、蒸鍍系統

有效

• 申請號: 201810240561.7
• 申請日: 2018-03-22
• 公開（公告）號: CN108441814B
• 公開（公告）日: 2020-03-13
• 發明（設計）人: 呂守華;黃俊杰;張德;趙蓉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種掩膜裝置，包括框架、條狀對位板和條狀支撐板，其特征在于，在所述條狀對位板中設置有鏤空部，且所述條狀對位板固定在所述框架上；

所述條狀支撐板與所述條狀對位板相互交叉，并且在所述條狀支撐板的與所述框架相對的表面上設置有多個焊點，所述條狀支撐板對應所述鏤空部的區域內設置有多個所述焊點，多個所述焊點通過所述鏤空部與所述框架焊接固定；

所述條狀支撐板的端部自所述條狀對位板背離所述框架的一側經由所述鏤空部延伸至所述條狀對位板的所述框架所在一側；所述焊點均設置在所述端部；或者

所述條狀支撐板的端部自所述條狀對位板的所述框架所在一側經由所述鏤空部延伸至所述條狀對位板的背離所述框架的一側；所述焊點均設置在所述端部。

2.根據權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述條狀支撐板疊置在所述條狀對位板背離所述框架的一側。

3.根據權利要求1所述的掩膜裝置，其特征在于，所述條狀支撐板疊置在所述條狀對位板朝向所述框架的一側。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的掩膜裝置，其特征在于，所述鏤空部包括沿所述條狀對位板的厚度方向設置的通孔。

5.根據權利要求2或3所述的掩膜裝置，其特征在于，所述鏤空部包括設置于所述條狀對位板上的凹槽，所述凹槽的開口朝向垂直于所述條狀對位板的延伸方向，且朝向所述條狀支撐板的所述端部。

6.根據權利要求1-3任意一項所述的掩膜裝置，其特征在于，所述條狀支撐板為一個或者多個，且多個所述條狀支撐板相互平行，并間隔排布。

7.根據權利要求1-3任意一項所述的掩膜裝置，其特征在于，多個所述焊點在垂直于所述條狀支撐板的長度方向上排成至少一排，同一排中的多個所述焊點沿平行于所述條狀支撐板的長度方向間隔排布。

8.根據權利要求1-3任意一項所述的掩膜裝置，其特征在于，在所述條狀對位板中設置有定位孔。

9.根據權利要求1-3任意一項所述的掩膜裝置，其特征在于，所述條狀對位板的數量為兩個，且相互平行；所述掩膜裝置還包括多個條狀遮擋板，多個所述條狀遮擋板均位于兩個所述條狀對位板之間，且與所述條狀對位板相互平行，并且多個所述條狀遮擋板間隔排布。

10.根據權利要求9所述的掩膜裝置，其特征在于，所述掩膜裝置還包括多個條狀掩膜板，且在每相鄰的兩個條狀遮擋板之間設置一個所述條狀掩膜板；并且，在每個所述條狀掩膜板上設置有開口。

11.一種蒸鍍系統，用于薄膜的蒸鍍，其特征在于，包括權利要求1-10任意一項所述的掩膜裝置。

12.一種掩膜裝置的制作方法，其特征在于，包括：

提供框架；

提供條狀對位板，且在所述條狀對位板中形成鏤空部；

提供條狀支撐板，且使所述條狀支撐板與所述條狀對位板相互交叉，并且在所述條狀支撐板的與所述框架相對的表面上形成有多個焊點，所述條狀支撐板對應所述鏤空部的區域內形成有多個所述焊點，多個所述焊點通過所述鏤空部與所述框架焊接固定；

所述條狀支撐板的端部自所述條狀對位板背離所述框架的一側經由所述鏤空部延伸至所述條狀對位板的所述框架所在一側；所述焊點均設置在所述端部；或者

所述條狀支撐板的端部自所述條狀對位板的所述框架所在一側經由所述鏤空部延伸至所述條狀對位板的背離所述框架的一側；所述焊點均設置在所述端部。