[發(fā)明專利]加工方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810239189.8
• 申請(qǐng)日: 2018-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108711550A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 竹之內(nèi)研二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): H01L21/304
• 分類號(hào): H01L21/304;H01L21/78;B23K26/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

1.一種加工方法，該加工方法對(duì)板狀的被加工物進(jìn)行加工，該板狀的被加工物在背面?zhèn)刃纬捎邪饘俚膶盈B體，該加工方法的特征在于，

該加工方法具備下述步驟：

保持步驟，利用保持工作臺(tái)對(duì)被加工物的該背面?zhèn)冗M(jìn)行保持；

激光加工步驟，在實(shí)施該保持步驟后，在被加工物的表面沿著該切斷預(yù)定線照射相對(duì)于被加工物具有吸收性的波長(zhǎng)的激光束，形成未到達(dá)該層疊體的激光加工槽；和切削步驟，在實(shí)施該激光加工步驟后，利用切削刀具對(duì)該激光加工槽的底部進(jìn)行切削，將被加工物與該層疊體一起沿著該切斷預(yù)定線切斷，

在該切削步驟中，一邊對(duì)被加工物供給包含有機(jī)酸和氧化劑的切削液，一邊執(zhí)行切削。

2.如權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，

該加工方法進(jìn)一步具備保護(hù)部件配設(shè)步驟，在實(shí)施該切削步驟之前，在被加工物的該背面配設(shè)保護(hù)部件，

該切削步驟在隔著該保護(hù)部件對(duì)被加工物的該背面?zhèn)冗M(jìn)行保持的狀態(tài)下實(shí)施。

3.如權(quán)利要求2所述的加工方法，其特征在于，

在該切削步驟中，使用厚度比該激光加工槽的寬度薄的該切削刀具。

4.如權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，

該加工方法進(jìn)一步具備保護(hù)部件配設(shè)步驟，在實(shí)施該激光加工步驟之后且在實(shí)施該切削步驟之前，在被加工物的該表面配設(shè)保護(hù)部件，

該切削步驟在隔著該保護(hù)部件對(duì)被加工物的該表面?zhèn)冗M(jìn)行保持的狀態(tài)下實(shí)施。