[發明專利]過濾器連接裝置以及具有過濾器連接裝置的基板處理裝置

有效

• 申請號: 201810233405.8
• 申請日: 2018-03-21
• 公開（公告）號: CN108630583B
• 公開（公告）日: 2022-02-22
• 發明（設計）人: 柏山真人;桒原壽哉
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B01D35/00;B01D36/00
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇;宋曉寶

1.一種過濾器連接裝置，能夠與形狀彼此不同的第一過濾器以及第二過濾器中的任一過濾器連接，所述過濾器連接裝置具有：

連接端口，能夠與所述第一過濾器的連接口以及所述第二過濾器的連接口連接，

基座部，支撐所述連接端口，

過濾器支撐部，能夠支撐所述第一過濾器以及所述第二過濾器，

旋轉軸部，與所述過濾器支撐部連接，以及

腳部，支撐所述旋轉軸部；

所述過濾器支撐部通過相對于所述腳部以所述旋轉軸部為中心旋轉，形成第一姿勢以及第二姿勢，

所述過濾器支撐部具有：

第一過濾器支撐部，在所述過濾器支撐部為所述第一姿勢時，所述第一過濾器支撐部支撐所述第一過濾器，以及

第二過濾器支撐部，在所述過濾器支撐部為所述第二姿勢時，所述第二過濾器支撐部支撐所述第二過濾器。

2.根據權利要求1所述的過濾器連接裝置，其中，

當所述過濾器支撐部為所述第一姿勢時，所述第一過濾器支撐部與所述第一過濾器的殼體接觸，并且所述第二過濾器支撐部處于與所述第一過濾器分離的位置，

當所述過濾器支撐部為所述第二姿勢時，所述第二過濾器支撐部與所述第二過濾器的殼體接觸，并且所述第一過濾器支撐部處于與所述第二過濾器分離的位置。

3.根據權利要求1所述的過濾器連接裝置，其中，

所述第一過濾器支撐部具有底板部，所述底板部具有載置面，

所述第二過濾器支撐部具有保持臂部，所述保持臂部與所述底板部連接，

當所述過濾器支撐部為所述第一姿勢時，所述載置面與所述第一過濾器的殼體的底部接觸，

當所述過濾器支撐部為所述第二姿勢時，所述保持臂部與所述第二過濾器的殼體的側部接觸。

4.根據權利要求3所述的過濾器連接裝置，其中，

所述保持臂部沿著與所述載置面大致垂直的方向延伸。

5.根據權利要求3所述的過濾器連接裝置，其中，

所述過濾器支撐部配置于所述連接端口的下方，

所述旋轉軸部的軸心為大致水平方向，

當所述過濾器支撐部為所述第一姿勢時，所述載置面為大致水平方向，并且所述保持臂部從所述底板部向上方延伸，

當所述過濾器支撐部為所述第二姿勢時，所述載置面為大致鉛垂方向，并且所述保持臂部從所述底板部沿著大致水平方向延伸。

6.根據權利要求3所述的過濾器連接裝置，其中，

所述過濾器連接裝置具有：

鉤掛構件，與所述保持臂部連接，以及

第一旋轉限制部，與所述腳部連接；

當所述過濾器支撐部為所述第一姿勢時，所述第一旋轉限制部配置于在所述保持臂部與所述鉤掛構件之間形成的間隙，并且所述第一旋轉限制部與所述鉤掛構件接觸。

7.根據權利要求6所述的過濾器連接裝置，其中，

所述過濾器連接裝置具有第二旋轉限制部，所述第二旋轉限制部與所述腳部連接，

當所述過濾器支撐部為所述第二姿勢時，所述第二旋轉限制部配置于所述間隙，并且所述第二旋轉限制部與所述鉤掛構件接觸。

8.根據權利要求7所述的過濾器連接裝置，其中，

當所述過濾器支撐部為所述第二姿勢時，所述鉤掛構件與所述第二旋轉限制部的側部接觸。

9.根據權利要求6所述的過濾器連接裝置，其中，

所述保持臂部具有基端部，所述基端部與所述底板部連接，

所述旋轉軸部連接于所述保持臂部的所述基端部的附近，

所述鉤掛構件連接于所述保持臂部的頂端部的附近。

10.根據權利要求1所述的過濾器連接裝置，其中，

所述腳部被所述基座部支撐為能夠相對于所述基座部移動。