[發明專利]熱板表面的檢測方法在審
| 申請號： | 201810231102.2 | 申請日： | 2018-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN110132973A | 公開（公告）日： | 2019-08-16 |
| 發明（設計）人： | 李國安 | 申請（專利權）人： | 力成科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉雙 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱板 熱板表面 檢測 異物 表面影像 影像捕獲設備 尺寸設定 選擇設定 異物排除 比對 沾附 制程 破裂 芯片 預防 | ||
1.一種熱板表面的檢測方法，其特征在于，包含下列步驟：
對應一待測熱板選擇設定一標準熱板數據；
根據該標準熱板數據及該待測熱板的尺寸設定一檢測范圍；
利用一影像捕獲設備于該檢測范圍內取得該待測熱板的至少一表面影像數據；以及
比對該至少一表面影像數據與該標準熱板數據，當檢測出該待測熱板表面具有異物時，對該待測熱板進行異物排除，并回到上一步驟。
2.如權利要求1所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，在設定該標準熱板數據前，更包含下列步驟：
提供一標準熱板；
根據該標準熱板進行檢驗頻率及存盤路徑的設定；
根據該標準熱板設定該影像捕獲設備；以及
掃描該標準熱板，以形成該標準熱板數據。
3.如權利要求2所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，該影像捕獲設備根據該標準熱板設定亮度及倍率。
4.如權利要求1所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，比較該至少一表面影像數據與該標準熱板數據的相似度為介于60％～100％之間，低于該相似度代表該待測熱板表面存在有該異物。
5.如權利要求1所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，該影像捕獲設備為機臺的鏡頭。
6.如權利要求1所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，該至少一表面影像數據的數量大于2時，該影像捕獲設備根據該待測熱板的面積進行等比例切割，以使每一該表面影像數據的尺寸相等。
7.如權利要求6所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，每一該表面影像數據為獨立的檔案數據，以分別比對每一該表面影像數據與該標準熱板數據，并分別記錄比對的結果。
8.如權利要求1所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，該異物排除為移除該待測熱板上的該異物或清潔該待測熱板。
9.如權利要求1所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，在設定該標準熱板數據、該檢測范圍及該至少一表面影像數據時，皆利用一通訊協議以同步轉成數據導出及儲存。
10.如權利要求9所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，該通訊協議為一SECS-GEM功能。
11.如權利要求1所述的熱板表面的檢測方法，其特征在于，該影像捕獲設備自該待測熱板的任一端上方開始移動，以完全取得該至少一表面影像數據。
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