[發明專利]一種被動懸浮的雙驅低負載天車

有效

• 申請號: 201810230992.5
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN108483254B
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 趙勇;馬麗梅;劉強;隋金玲;張淞銘;吳立志;單希林;吳波;韓明忠
• 申請（專利權）人: 北京石油化工學院
• 主分類號: B66C9/14
• 分類號: B66C9/14;B66C7/08;F16C32/04
• 代理公司: 北京凱特來知識產權代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;趙鎮勇

本發明公開了一種被動懸浮的雙驅低負載天車，主要由定子部分和動子部分組成，定子部分包括：框架、定子永磁體、上導磁板、上隔磁定位塊、L型導磁板、導磁定位塊、導磁導軌和方形繞組線圈；動子部分包括：移動架、動子永磁體和擋板。本發明提出了一種被動懸浮的雙驅低負載天車，采用方形繞組線圈結構增大了線圈在磁場中的有效長度，利用雙邊永磁體提高了繞組線圈氣隙磁密均勻性，利用導磁材料減少了氣隙漏磁，此外，驅動磁通與懸浮磁通耦合形成回路，提高了磁通利用率。本發明具有氣隙磁密均勻性好、磁場強度大、定位精度高、驅動力大、運輸速度快、結構緊湊、體積小等優點，可應用于半導體運輸等高潔凈度工作環境。

技術領域

本發明涉及一種用于半導體FOUP物料直線運輸的裝置，尤其涉及一種被動懸浮的雙驅低負載天車。

背景技術

由于半導體工藝要求避免污染和損傷晶元片，對工作環境的潔凈度有非常高的要求，因此需要嚴格控制環境中微塵粒子的數量，作為半導體專用的FOUP傳輸天車，其工作時潔凈度是產品特許的需求，因為工作在高潔凈度的環境下，設備自身的潔凈度會影響到半導體產品質量，因此對半導體運輸天車的潔凈度具有較高的要求。然而，現有的運輸天車多為軌道接觸式結構，設備在運行過程中存在摩擦磨損且需要潤滑，其工作時產生的微塵粒子對半導體的潔凈度帶來不利的影響，同樣存在傳輸效率低、速度慢等缺點。

專利201320776620.5所述的一種磁懸浮小車自動物料搬運系統利用線圈通交流電變成電磁鐵的原理實現裝置的懸浮與導向，導致產生大量的熱量，由于沒有合理設計磁路的走向，導致空間漏磁多，磁通利用率低，且懸浮裝置體積大，導致該裝置運行過程功耗大。此外，采用直線同步電動機，將轉子位于搬運物料的小車上，定子安裝在軌道上，運行過程導致小車與軌道之間產生附加吸引力，增大了負載與功耗，又降低了定位精度。

發明內容

本發明的目的是從懸浮支承磁路與驅動力磁路的角度出發，提出一種被動懸浮的雙驅低負載天車。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的：