[發(fā)明專利]帶電粒子束裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810229218.2
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN108666193B
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發(fā)明（設計）人: 巖堀敏行
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/244
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

本發(fā)明的目的在于提供帶電粒子束裝置，其能夠防止起因于人為的錯誤等而導致試樣與電子束鏡筒接觸。該帶電粒子束裝置(10)具有試樣室(11)、試樣載臺(31)、向試樣S照射電子束的電子束鏡筒(13)以及照射會聚離子束的會聚離子束鏡筒(14)。帶電粒子束裝置(10)具有移位部件(45)，該移位部件(45)具有：開閉部，其被設置為能夠在電子束鏡筒(13)的出射端部和試樣載臺(31)之間的插入位置與離開插入位置的退出位置之間移位；以及接觸部，其設置于在試樣載臺(31)進行動作時能夠比出射端部先與試樣(S)接觸的接觸位置。帶電粒子束裝置(10)具有使移位部件(45)移位的驅動機構(42)和檢測有無試樣(S)與接觸部的接觸的導通傳感器(24)。

技術領域

本發(fā)明涉及帶電粒子束裝置。

背景技術

以往，公知有如下的復合帶電粒子束裝置，該復合帶電粒子束裝置具有電子束鏡筒和會聚離子束鏡筒、以及對電子束鏡筒的物鏡的開口部進行開閉的旋轉型的快門(例如參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開平5-314941號公報

上述現(xiàn)有技術的復合帶電粒子束裝置在向試樣照射會聚離子束的加工時等，通過快門關閉物鏡的開口，從而能夠防止飛濺粒子和氣體等浮游粒子附著在物鏡或電子束鏡筒的內部。

可是，在上述現(xiàn)有技術的復合帶電粒子束裝置中，由于根據(jù)試樣或者用途的多樣化等使用各種試樣支架，因此需要按每個試樣支架控制試樣載臺的不同動作。然而，在試樣相對于試樣支架的安裝或試樣支架的選擇等上發(fā)生人為的錯誤的情況下，很難使試樣載臺適當?shù)剡M行動作，因而試樣有可能與電子束鏡筒接觸。

發(fā)明內容

本發(fā)明就是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種帶電粒子束裝置，該帶電粒子束裝置能夠防止起因于人為的錯誤等而導致試樣與電子束鏡筒接觸。

(1)本發(fā)明的一個方式是帶電粒子束裝置，其特征在于，該帶電粒子束裝置具有：試樣載臺，其載置試樣；試樣室，其收納所述試樣載臺；帶電粒子束鏡筒，其向所述試樣照射帶電粒子束；移位部件，其具有開閉部和接觸部，該開閉部被設置為能夠在所述帶電粒子束鏡筒的出射端部和所述試樣載臺之間的插入位置與遠離所述插入位置的退出位置之間移位，該接觸部設置于在所述試樣載臺進行動作時能夠比所述出射端部先與所述試樣接觸的接觸位置；驅動單元，其使所述移位部件移位；以及檢測單元，其檢測有無所述試樣與所述接觸部的接觸。

(2)另外，本發(fā)明的一個方式的特征在于，在(1)中所述的帶電粒子束裝置中，所述驅動單元具有致動器，該致動器使所述移位部件至少在與所述試樣載臺的傾斜軸平行的移動方向上移位。

(3)另外，本發(fā)明的一個方式的特征在于，在(1)中所述的帶電粒子束裝置中，所述驅動單元具有致動器，該致動器使所述移位部件至少在與所述試樣載臺的傾斜不發(fā)生干涉的范圍內移位。

(4)另外，本發(fā)明的一個方式的特征在于，在(1)至(3)中的任意一項所述的帶電粒子束裝置中，該帶電粒子束裝置具有對所述試樣室和所述驅動單元與所述移位部件之間進行電絕緣的電絕緣部件，所述檢測單元具有：電源，其從所述試樣室的外部向所述移位部件施加電壓；以及電連接部件，其電連接所述試樣和所述試樣室，根據(jù)有無所述試樣與所述接觸部的導通來檢測有無所述試樣與所述接觸部的接觸。

(5)另外，本發(fā)明的一個方式的特征在于，在(1)至(4)中的任意一項所述的帶電粒子束裝置中，該帶電粒子束裝置具有：熱絕緣部件，其對所述試樣室和所述驅動單元與所述移位部件之間進行熱絕緣；以及冷卻單元，其將所述移位部件冷卻到比所述試樣低的溫度。

(6)另外，本發(fā)明的一個方式的特征在于，在(5)中所述的帶電粒子束裝置中，所述冷卻單元具有：冷卻部件，其配置在所述試樣的附近；以及熱連接部件，其對所述冷卻部件和所述移位部件進行熱連接。