[發明專利]帶電粒子束裝置

有效

• 申請號: 201810229218.2
• 申請日: 2018-03-20
• 公開（公告）號: CN108666193B
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發明（設計）人: 巖堀敏行
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/244
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，其具有：

試樣載臺，其載置試樣；

試樣室，其收納所述試樣載臺；

帶電粒子束鏡筒，其向所述試樣照射帶電粒子束；

移位部件，其具有開閉部和接觸部，該開閉部被設置為能夠在所述帶電粒子束鏡筒的出射端部和所述試樣載臺之間的插入位置與離開所述插入位置的退出位置之間移位，該接觸部能夠設置于在所述試樣載臺進行動作時能夠比所述出射端部先與所述試樣接觸的所述插入位置、并且不與所述帶電粒子束干涉，在所述接觸部配置于所述插入位置的情況下，所述開閉部配置于所述退出位置；

驅動單元，其使所述移位部件移位；以及

檢測單元，其檢測有無所述試樣與所述接觸部的接觸，

作為所述帶電粒子束鏡筒，具有向所述試樣照射電子束的電子束鏡筒和向所述試樣照射會聚離子束的會聚離子束鏡筒，所述移位部件能夠在向所述試樣照射所述會聚離子束時移動到防止由所述會聚離子束產生的浮游粒子侵入并附著在所述電子束鏡筒的內部的位置。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述驅動單元具有致動器，該致動器使所述移位部件至少在與所述試樣載臺的傾斜軸平行的移動方向上移位。

3.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述驅動單元具有致動器，該致動器使所述移位部件至少在與所述試樣載臺的傾斜不發生干涉的范圍內移位。

4.根據權利要求1至3中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

該帶電粒子束裝置具有對所述試樣室和所述驅動單元與所述移位部件之間進行電絕緣的電絕緣部件，

所述檢測單元具有：

電源，其從所述試樣室的外部向所述移位部件施加電壓；以及

電連接部件，其電連接所述試樣和所述試樣室，

根據有無所述試樣與所述接觸部的導通來檢測有無所述試樣與所述接觸部的接觸。

5.根據權利要求1至3中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，其具有：

熱絕緣部件，其對所述試樣室和所述驅動單元與所述移位部件之間進行熱絕緣；以及

冷卻單元，其將所述移位部件冷卻到比所述試樣低的溫度。

6.根據權利要求5所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述冷卻單元具有：

冷卻部件，其配置在所述試樣的附近；以及

熱連接部件，其對所述冷卻部件和所述移位部件進行熱連接。

7.根據權利要求1至3中的任意一項所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

該帶電粒子束裝置具有成像系統，該成像系統檢測所述試樣的透射帶電粒子或散射帶電粒子而獲得實像和衍射像的強度分布，

所述移位部件具有光圈部，該光圈部被設置為能夠在所述插入位置與所述退出位置之間移位，

在所述光圈部上形成有光圈貫通孔，在所述插入位置處，該光圈貫通孔使所述帶電粒子束通過。