[發明專利]用于減小諧波失真的體聲波諧振器及體聲波濾波器有效
| 申請號: | 201810224679.0 | 申請日: | 2018-03-19 |
| 公開(公告)號: | CN108696262B | 公開(公告)日: | 2022-02-18 |
| 發明(設計)人: | 李文喆;樸朵焌;李在昌;金泰潤;林昶賢;李華善;李泰勛;黃炫民;李泰京 | 申請(專利權)人: | 三星電機株式會社 |
| 主分類號: | H03H9/02 | 分類號: | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人: | 王春芝;金光軍 |
| 地址: | 韓國京畿*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 減小 諧波 失真 聲波 諧振器 濾波器 | ||
1.一種體聲波諧振器,包括:
基板;
第一體聲波諧振器,包括設置在所述基板上的第一氣腔,還包括堆疊在所述第一氣腔上的第一電極、第一壓電層和第二電極;
第二體聲波諧振器,包括設置在所述基板上的第二氣腔,還包括堆疊在所述第二氣腔上的第一電極、第二壓電層和第二電極,其中,所述第二體聲波諧振器并聯連接到所述第一體聲波諧振器并且具有與所述第一體聲波諧振器的極性相反的極性;以及
補償電容器電路,連接在所述第一體聲波諧振器與所述第二體聲波諧振器之間。
2.根據權利要求1所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路具有被設置為補償通過所述第一體聲波諧振器和所述第二體聲波諧振器形成的并聯諧振電路的不對稱性的電容。
3.根據權利要求1所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路包括第一補償電容器,所述第一補償電容器包括:
所述第一體聲波諧振器的所述第一電極;
介電層,堆疊在所述第一體聲波諧振器的所述第一電極上;以及
金屬焊盤,連接到所述第二體聲波諧振器的所述第二電極,并且堆疊在所述介電層上以與所述第一體聲波諧振器的所述第一電極疊置。
4.根據權利要求1所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路包括第一補償電容器,所述第一補償電容器包括:
所述第二體聲波諧振器的所述第一電極;
介電層,堆疊在所述第二體聲波諧振器的所述第一電極上;以及
金屬焊盤,連接到所述第一體聲波諧振器的所述第二電極,并且堆疊在所述介電層上以與所述第二體聲波諧振器的所述第一電極疊置。
5.根據權利要求4所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路還包括第二補償電容器,所述第二補償電容器包括:
所述第二體聲波諧振器的所述第一電極;
介電層,堆疊在所述第二體聲波諧振器的所述第一電極上;以及
金屬焊盤,連接到所述第一體聲波諧振器的所述第二電極,并且堆疊在所述介電層上以與所述第二體聲波諧振器的所述第一電極疊置。
6.根據權利要求4所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路還包括第二補償電容器,所述第二補償電容器包括:
所述第一體聲波諧振器的所述第一電極;
介電層,堆疊在所述第一體聲波諧振器的所述第一電極上;以及
金屬焊盤,連接到所述第二體聲波諧振器的所述第二電極,并且堆疊在所述介電層上以與所述第一體聲波諧振器的所述第一電極疊置。
7.根據權利要求3所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路還包括第二補償電容器,所述第二補償電容器包括:
所述第二體聲波諧振器的所述第一電極;
介電層,堆疊在所述第二體聲波諧振器的所述第一電極上;以及
金屬焊盤,連接到所述第一體聲波諧振器的所述第二電極,并且堆疊在所述介電層上以與所述第二體聲波諧振器的所述第一電極疊置。
8.根據權利要求3所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路還包括第二補償電容器,所述第二補償電容器包括:
所述第一體聲波諧振器的所述第一電極;
介電層,堆疊在所述第一體聲波諧振器的所述第一電極上;以及
金屬焊盤,連接到所述第二體聲波諧振器的所述第二電極,并且堆疊在所述介電層上以與所述第一體聲波諧振器的所述第一電極疊置。
9.根據權利要求3所述的體聲波諧振器,其中,所述補償電容器電路還包括第一補償電容器電路,所述第一補償電容器電路并聯連接到所述第一補償電容器并且具有固定電容和可變電容中的一者。
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