[發(fā)明專利]用于減小諧波失真的體聲波諧振器及體聲波濾波器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810224679.0
• 申請(qǐng)日: 2018-03-19
• 公開（公告）號(hào): CN108696262B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文喆;樸朵焌;李在昌;金泰潤(rùn);林昶賢;李華善;李泰勛;黃炫民;李泰京
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02;H03H9/17;H03H9/54
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 王春芝;金光軍

1.一種體聲波諧振器，包括：

基板；

第一體聲波諧振器，包括設(shè)置在所述基板上的第一氣腔，還包括堆疊在所述第一氣腔上的第一電極、第一壓電層和第二電極；

第二體聲波諧振器，包括設(shè)置在所述基板上的第二氣腔，還包括堆疊在所述第二氣腔上的第一電極、第二壓電層和第二電極，其中，所述第二體聲波諧振器并聯(lián)連接到所述第一體聲波諧振器并且具有與所述第一體聲波諧振器的極性相反的極性；以及

補(bǔ)償電容器電路，連接在所述第一體聲波諧振器與所述第二體聲波諧振器之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路具有被設(shè)置為補(bǔ)償通過(guò)所述第一體聲波諧振器和所述第二體聲波諧振器形成的并聯(lián)諧振電路的不對(duì)稱性的電容。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路包括第一補(bǔ)償電容器，所述第一補(bǔ)償電容器包括：

所述第一體聲波諧振器的所述第一電極；

介電層，堆疊在所述第一體聲波諧振器的所述第一電極上；以及

金屬焊盤，連接到所述第二體聲波諧振器的所述第二電極，并且堆疊在所述介電層上以與所述第一體聲波諧振器的所述第一電極疊置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路包括第一補(bǔ)償電容器，所述第一補(bǔ)償電容器包括：

所述第二體聲波諧振器的所述第一電極；

介電層，堆疊在所述第二體聲波諧振器的所述第一電極上；以及

金屬焊盤，連接到所述第一體聲波諧振器的所述第二電極，并且堆疊在所述介電層上以與所述第二體聲波諧振器的所述第一電極疊置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路還包括第二補(bǔ)償電容器，所述第二補(bǔ)償電容器包括：

所述第二體聲波諧振器的所述第一電極；

介電層，堆疊在所述第二體聲波諧振器的所述第一電極上；以及

金屬焊盤，連接到所述第一體聲波諧振器的所述第二電極，并且堆疊在所述介電層上以與所述第二體聲波諧振器的所述第一電極疊置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路還包括第二補(bǔ)償電容器，所述第二補(bǔ)償電容器包括：

所述第一體聲波諧振器的所述第一電極；

介電層，堆疊在所述第一體聲波諧振器的所述第一電極上；以及

金屬焊盤，連接到所述第二體聲波諧振器的所述第二電極，并且堆疊在所述介電層上以與所述第一體聲波諧振器的所述第一電極疊置。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路還包括第二補(bǔ)償電容器，所述第二補(bǔ)償電容器包括：

所述第二體聲波諧振器的所述第一電極；

介電層，堆疊在所述第二體聲波諧振器的所述第一電極上；以及

金屬焊盤，連接到所述第一體聲波諧振器的所述第二電極，并且堆疊在所述介電層上以與所述第二體聲波諧振器的所述第一電極疊置。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路還包括第二補(bǔ)償電容器，所述第二補(bǔ)償電容器包括：

所述第一體聲波諧振器的所述第一電極；

介電層，堆疊在所述第一體聲波諧振器的所述第一電極上；以及

金屬焊盤，連接到所述第二體聲波諧振器的所述第二電極，并且堆疊在所述介電層上以與所述第一體聲波諧振器的所述第一電極疊置。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的體聲波諧振器，其中，所述補(bǔ)償電容器電路還包括第一補(bǔ)償電容器電路，所述第一補(bǔ)償電容器電路并聯(lián)連接到所述第一補(bǔ)償電容器并且具有固定電容和可變電容中的一者。