[發(fā)明專(zhuān)利]加工方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201810224063.3
• 申請(qǐng)日: 2018-03-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108630536A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田渕智隆
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/304
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/304
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

1.一種加工方法，是設(shè)定有多條分割預(yù)定線并且在板狀物的背面上形成有膜的被加工物的加工方法，其中，該加工方法具有如下的步驟：

槽形成步驟，從被加工物的正面沿著該分割預(yù)定線形成槽；

擴(kuò)展片粘貼步驟，在實(shí)施了該槽形成步驟之后，在被加工物的正面上粘貼擴(kuò)展片；

擴(kuò)展步驟，在實(shí)施了該擴(kuò)展片粘貼步驟之后，對(duì)該擴(kuò)展片進(jìn)行擴(kuò)展；以及

噴射步驟，在實(shí)施了該擴(kuò)展步驟之后，對(duì)被加工物的該膜噴射噴射物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其中，

該加工方法具有如下的第一噴射步驟：在實(shí)施所述擴(kuò)展步驟之前，對(duì)被加工物的所述膜噴射噴射物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的加工方法，其中，

所述噴射物包含固態(tài)二氧化碳顆粒。