[發明專利]多容量可便捷換樣電子探針樣品臺

在審

• 申請號: 201810222152.4
• 申請日: 2018-03-18
• 公開（公告）號: CN108732194A
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 劉奕志;段煉;張宗偉;王源東;馮佐海;陳遠榮;劉蘇橋;鄭國峰
• 申請（專利權）人: 桂林理工大學
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2252
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明是一種多容量可便捷切換樣品的電子探針樣品臺裝置，屬于實驗設備制造技術領域。該樣品臺裝置包括殼體、機械傳動機構、換樣結構、樣品套及觸發機構；優點在于一次性容納的樣品數量最多為原有的6倍(24片)，極大的增加了容納樣品數量，延長了換樣周期和提高儀器連續使用效率，進而有效地延長了儀器使用壽命，提高了測試機構收益，更高效地服務于所需的行業之中。

技術領域

本發明涉及新型電子探針樣品臺的設計領域，經計算，最多可容納24件薄片樣品，為普通樣品臺的6倍，并可實現當樣品檢測完畢后，無需抽放真空和取出樣品臺，便可進行便捷式的機械換樣操作。

背景技術

電子探針在測試待檢測物時，因具有快速、高分辨率、高精度、不損壞樣品等優良特點，被廣泛應用于文物鑒定、地質、材料等眾多領域，因此應用前景極為廣泛。但目前電子探針薄片樣品臺，每次只能容納4件薄片，頻繁更換樣品既耗時又影響測試者的測試效率，最重要的是增加了換樣操作風險，進而縮短了儀器使用壽命。為解決上述問題，現設計一種多容量可便捷切換樣品的電子探針樣品臺裝置，經計算，一次最多可容納24件薄片樣品，為為普通樣品臺的6倍，極大的增加了容納樣品數量，延長了換樣周期和提高儀器連續使用效率，進而有效地延長了儀器使用壽命，提高了測試機構收益，更高效地服務于所需的行業之中。

發明內容

為了解決上述問題，本發明的目的在于優化和改造原有樣品臺，即提供一種多容量可便捷切換樣品的電子探針樣品臺裝置(如圖1)，使資源能得到更大程度的應用。

本發明是一種多容量可便捷切換樣品的電子探針樣品臺裝置，包括：機械傳動機構、換樣結構、樣品套及觸發機構；所述觸發結構，銜接發條盒，當推桿在卡槽(圖4-圖標3)中旋轉時觸發按鈕，致使彈片上移釋放發條，經由發條盒提供動力(完成三分之一周的運作)，使得齒輪組控制鏈條推動推板；齒輪組固定于上夾板(圖4-圖標2)與中夾板(圖4-圖標4)之間，功用之一即為控制鏈輪與發條盒轉速比；推板將薄片由前儲樣倉推至后儲樣倉過程中，利用樣品套與樣品套之間的摩擦使整體結構緩慢運轉；再由彈性裝置將樣品臺上的待測樣品推至待檢測區；該設計中未經檢測的樣品儲藏于前儲樣倉，前儲樣倉位于上夾板之上，樣品定位片之下，后儲樣倉位于下夾板之上，樣品定位片之下，緊鄰前樣品倉，用于儲存已檢測樣品；該設計頂部的樣品定位片與左右護板相連，用于固定樣品至特定高度并保持其與底座(或下夾板)平行。

該樣品臺裝置的相關參數：高51mm，(除觸發機構與發條盒部分)長109mm，寬100mm；前儲樣倉長95mm，寬60mm，高32mm；后儲樣倉長95mm,寬35mm，高45mm。

傳動機構的齒輪組固定于中夾板于上夾板之間，應進行功能性打磨，其尺寸如圖9。

齒輪組齒輪應高精度加工，尺寸如圖6、7、8、9所示。

每個樣品套可放置兩個薄片，薄片由兩遍開口嵌入樣品套，粘導電膠固定于樣品套框架內，如圖10、11。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明具體實施方式或現有技術中的技術方案，下面將對具體實施方式或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發明的一些實施方式，對于本領域技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明新型樣品臺的3D外觀右視圖；

圖2為本發明新型樣品臺的3D外觀正視圖；

圖3為本發明新型樣品臺的3D外觀俯視圖；

圖4為本發明新型樣品臺的3D整體結構剖面示意圖；

圖5為本發明新型樣品臺的3D內部結構示意圖；

圖6為本發明新型樣品臺的左護板結構示意圖；