[發明專利]多容量可便捷換樣電子探針樣品臺

在審

• 申請號: 201810222152.4
• 申請日: 2018-03-18
• 公開（公告）號: CN108732194A
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 劉奕志;段煉;張宗偉;王源東;馮佐海;陳遠榮;劉蘇橋;鄭國峰
• 申請（專利權）人: 桂林理工大學
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2252
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多容量可便捷切換樣品的電子探針樣品臺裝置(其后簡稱新型樣品臺)，其特征在于，包括：殼體、機械傳動機構、換樣結構、樣品套及觸發機構；所述殼體包括左右護板、上中下夾板、樣品定位片和前后儲樣倉；所述機械傳動機構是指齒輪組，均為高精度齒輪；所述換樣結構包括可伸縮樣品臺和樣品推動機構，主要通過所述機械傳動機構實現整體結構運作；所述觸發機構固定在所述殼體的卡槽上，包括觸發開關和彈片。

2.根據權利要求1所述的新型樣品臺，特征在于，其所述殼體中的樣品定位片與左右護板相互垂直，且平行于底座；前后儲樣倉均用于放置薄片，其中前儲樣倉用于放置待檢測的薄片，后儲樣倉用于放置已檢測的薄片，前后儲樣倉的體積比大于2:1。

3.根據權利要求1所述的新型樣品臺，特征在于，其所述換樣結構中的彈性樣品臺由四根鑲嵌于下夾板上的彈簧提供支持力，當上層薄片檢測完畢，通過由齒輪組組成的機械傳動機構提供動力，將薄片由前儲樣倉推至后儲樣倉，該彈性樣品臺將下層薄片向上推至待檢測位置，進行檢測。

4.根據權利要求1所述的新型樣品臺，特征在于，其所述換樣結構中的樣品推動機構中由齒輪組和鏈條組成，通過發條盒規律性的轉動以提供動力，該動力經由推板將薄片由前樣品倉推至后儲樣倉。

5.根據權利要求1所述的新型樣品臺，特征在于，其所述觸發機構由彈片與發條盒上的卡齒兩個主體所組成，通過旋轉電子探針上的推桿以觸發彈片，經由發條盒產生動力，實現便捷式換樣。

6.根據權利要求1所述的新型樣品臺，特征在于，其所述樣品套是指一個兩端開口，上下開口的矩形套子，專門用于盛放薄片，以避免薄片之間相互接觸，影響測試的結果。