[發(fā)明專(zhuān)利]一種制備大面積銅Cu(111)單晶的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810218065.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-03-16 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN110273176B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-11-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 武斌;張家寧;楊賀;劉云圻 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào): | C30B1/02 | 分類(lèi)號(hào): | C30B1/02;C30B29/02;C30B33/02;C30B33/00;C22F1/08 |
| 代理公司: | 北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11245 | 代理人: | 關(guān)暢 |
| 地址: | 100190 *** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 制備 大面積 cu 111 方法 | ||
1.一種制備單晶Cu(111)的方法,包括如下步驟:將多晶銅箔進(jìn)行若干次處理,得到所述單晶Cu(111);
每次處理均為拋光和退火;
所述若干次至少為3次。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于:所述若干次為3次或4次。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于:所述拋光步驟中,拋光方法為電化學(xué)拋光。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法,其特征在于:所述電化學(xué)拋光步驟中,所用拋光液由水、磷酸、乙醇、異丙醇和尿素組成;
電壓為3 V-5 V;
電流為2 A-4 A;
拋光時(shí)間為2 min-5 min。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于:所述拋光液中,水、磷酸、乙醇、異丙醇和尿素的用量比為250 mL:125 mL:125 mL:25 mL:4g。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于:所述退火在惰性氣體和還原性氣體存在的條件下進(jìn)行;
惰性氣體的流量為100 sccm-400 sccm;
還原性氣體的流量為50 sccm-200 sccm;
退火溫度為1070 oC-1083 oC;
退火時(shí)間為30 min-180 min。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法,其特征在于:所述惰性氣體為氬氣或氮?dú)猓?/p>
所述還原性氣體為氫氣。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一所述的方法,其特征在于:所述方法還包括如下步驟:每次退火后,將銅箔自然冷卻至室溫。
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